歐姆龍OMRON傳感器2SMPP-03測(cè)量壓力全新 返回列表頁(yè)

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歐姆龍OMRON傳感器2SMPP-03測(cè)量壓力全新

歐姆龍OMRON數(shù)字壓力傳感器的歷史可追溯到70多年前......歐姆龍OMRON數(shù)字壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志，整個(gè)發(fā)展過(guò)程可以分為以下四個(gè)階段：

　　1、發(fā)明階段（1945-1960年）

　　這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯（C.S.Smith）與1945發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí)，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的歐姆龍OMRON數(shù)字壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上，即將力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。此階段小尺寸大約為1cm。

　　2、發(fā)展階段（1960-1970年）

　　隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展，技術(shù)人員在硅的（001）或（110）晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱(chēng)為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了金屬-硅共晶體，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

　　3、商業(yè)化階段（1970-1980年）

　　在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕，數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠(chǎng)加工模式，成本進(jìn)一步降低。

　　4、微機(jī)械加工階段（1980年至今）

　　上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù)，使得微機(jī)械加工工藝成為可能。通過(guò)微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的歐姆龍OMRON數(shù)字壓力傳感器，其線(xiàn)度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級(jí)的溝、條、膜，使得歐姆龍OMRON數(shù)字壓力傳感器進(jìn)入了微米階段

• 在－50kPa～＋50kPa的壓力范圍內(nèi)具有優(yōu)異的電氣特性。
  偏置電壓：－2.5±4.0mV
  量程電壓：42.0±5.5mV
  (額定壓力50kPa、測(cè)量電流DC100μA時(shí))
• 長(zhǎng)6.1×寬4.7×高8.2mm的超小型。
• 溫度影響小。
  量程電壓：±3.0％FS
  偏置電壓：±5.0％FS
  (0～85℃、0～50kPa、測(cè)量電流DC100μA時(shí))
• 0.2mW的低功耗。

歐姆龍OMRON傳感器2SMPP-03測(cè)量壓力全新

額定值/性能：

壓力的種類(lèi)               儀表壓力
傳感方式                 壓電電阻式
壓力介質(zhì)                 空氣
驅(qū)動(dòng)方式                 恒定電流驅(qū)動(dòng)
驅(qū)動(dòng)電流                 DC100mA
壓力范圍                 -50～50kPa
耐壓                     -80～120kPa
大驅(qū)動(dòng)電流             大DC200mA
使用環(huán)境溫度范圍          -10～100℃(不結(jié)冰、凝露)
使用環(huán)境濕度范圍         10～95％RH(不結(jié)冰、凝露)
儲(chǔ)存環(huán)境溫度范圍          -40～120℃(不結(jié)冰、凝露)
保存環(huán)境濕度范圍          10～95％RH(不結(jié)冰、凝露)
重量                     0.17g
注1. 上述值為23℃時(shí)測(cè)量的初始值。
注2. 請(qǐng)勿使用空氣以外的腐蝕性氣體。

部分現(xiàn)貨型號(hào)：

E8F2-A01C 

E8F2-A01B 

E8F2-B10C 

E8F2-B10B

E8F2-AN0C 

E8F2-AN0B

E8F2-A01C 

E8F2-A01B 

E8F2-B10C 

E8F2-B10B

E8F2-AN0C 

E8F2-AN0B

E8F2-A01C 

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產(chǎn)品具體詳見(jiàn)：2SMPP-03 MEMS測(cè)量壓力傳感器