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日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
省空間且提高了維護(hù)性的工藝氣體供給系統(tǒng)。
從設(shè)計(jì)到制作均可根據(jù)客戶需要的流程進(jìn)行。
1.125inch、采用W密封。
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(前工序) 化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件
科鎂自動(dòng)化設(shè)備(上海)有限公司是一家專業(yè)銷售進(jìn)口工控液壓,氣動(dòng),儀器儀表,主要品牌有:德國(guó)力士樂REXROTH、西門子SIEMENS、克拉克KRACHT、美國(guó)派克PARKER、阿斯卡ASCO、威格士VICKERS、意大利阿托斯ATOS、康茂盛CAMOZZI、杰夫倫GEFRAN、日本SMC、CKD、瑞士科瑞CONTRINEX等
日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
【集成單元】
通過緊湊集成標(biāo)準(zhǔn)化部件,構(gòu)建工藝氣體供氣線。
實(shí)現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計(jì)到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時(shí)。
日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
衍生系列:
IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件規(guī)格:
項(xiàng) 目: MMGD5-R MMGD5-1
使用流體: 惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G): 1.3×10-6~0.99
流體溫度 ℃: 5~80
環(huán)境溫度 ℃ : 5~80
閥座泄漏 Pa m3/s(He): 1.0×10-10
外部泄漏 Pa m3/s(He): 2.8×10-12
Cv值: 0.26
配管方式 : 1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質(zhì): SUS316L
膜片材質(zhì): Ni-Co合金
閥座材質(zhì): PCTFE
項(xiàng) 目: MFGD5-11D-W-1 MFGD5-11D-W-4
使用流體:惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G):1.3×10-6~0.7
流體溫度 ℃:-10~80
環(huán)境溫度 ℃:-10~80
閥座泄漏:大Cv值的1/100以下
外部泄漏 Pa?m3/s(He):2.8×10-12
Cv值(調(diào)整范圍):0.003-0.03 0.02-0.2
配管方式:1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質(zhì):SUS316L
膜片材質(zhì):Ni-Co合金
科鎂自動(dòng)化設(shè)備(上海)有限公司供應(yīng):喜開理CKD電控?fù)Q向閥、喜開理CKD傳感器、喜開理CKD電機(jī)等產(chǎn)品,價(jià)格實(shí)惠,部分常規(guī)型號(hào)有現(xiàn)貨。如需采購(gòu)可咨詢。我將竭誠(chéng)為您服務(wù)。請(qǐng)您詢價(jià)采購(gòu)時(shí)請(qǐng)備注貴公司營(yíng)業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號(hào)數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序第yi時(shí)間給您回復(fù)報(bào)價(jià)。
產(chǎn)品具體詳見:IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件