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INFICONCrystalSix®傳感器

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  • 型號 CrystalSix®
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時間:2019-05-15 14:57:12瀏覽次數(shù):435

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INFICONCrystalSix®傳感器
INFICON CrystalSix 晶體對于要求連續(xù)監(jiān)控速率的長時間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學(xué)鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。

詳細(xì)介紹

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晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率 晶體索引通過氣動機(jī)制完成 相比同類裝置使用的昂貴的真空發(fā)熱電機(jī),這種氣動馬達(dá)可提供更好的晶體熱穩(wěn)定性 一個 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩(wěn)定性,并提供晶體位置的靈活性 與某些 INFICON 薄膜控制器結(jié)合使用時,傳感器提供位置反饋,因此可針對特定的材料安排特定的位置

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