詳細(xì)介紹
橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HD-SGC-1A
技術(shù)指標(biāo):
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°~90°≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°~180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |
橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HD-SGC-1A
技術(shù)指標(biāo):
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°~90°≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°~180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |