目錄:上海蔡康光學(xué)儀器有限公司>>金相顯微鏡>> MCK-66RC大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡（芯片/晶圓）
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 農(nóng)業(yè),地礦,電子,汽車 |
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大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡（芯片/晶圓）MCK-66RC
蔡康MCK-66RC系列為最新大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡，專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-66RC系列機型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
■ 所有光學(xué)部件均經(jīng)過特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 6英寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
■ 6英寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡機型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像
■ 多種高度功能化的附件，能滿足半導(dǎo)體檢查各種場景需要。
6英寸半導(dǎo)體檢查顯微鏡技術(shù)規(guī)格表:
型號 | 配置 | MCK-66RC-1D | MCK-66RC-2D |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng) | ● | ● |
光學(xué)放大倍數(shù) | 50倍-500倍(可選500/1000倍) | ● | ● |
數(shù)碼放大倍數(shù) | 150倍-1500倍（21.5寸顯示器） | ● | ● |
工業(yè)相機 | 2000萬1寸彩色索尼工業(yè)芯片（可選630萬） | ● | ● |
觀察筒 | 正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 | ○ | ● |
反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 | ● | ○ | |
目鏡 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調(diào) | ● | ○ |
高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調(diào) | ○ | ● | |
物鏡 | 無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡5X NA0.15 WD14.8mm | ● | ● |
無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡10X NA0.30 WD8.5mm | ● | ● | |
無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡20X NA0.45 WD11.9mm | ● | ● | |
無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡50X NA0.75 WD3.0mm | ● | ● | |
無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.80 WD3.0mm | ○ | ○ | |
無限遠半復(fù)消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.90 WD1.0mm | ○ | ○ | |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 5孔明暗場手動物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）. | ● | ● |
5孔明暗場電動物鏡轉(zhuǎn)換器（電動/帶DIC插槽）. | ○ | ○ | |
機架 上光源 | 反射用機架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能 | ● | ● |
載物臺 | 6英寸平臺，平臺面積 450*240mm，移動行程：158mmX158mm機械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動裝置 | ● | ● |
聚光鏡 | 搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） | ● | ● |
干涉片 | 諾曼爾斯基微分干涉片 | ○ | ○ |
反射照明器 | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽， | ● | ● |
燈室 | 10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心 | ● | ● |
攝像接口 | 攝影攝像附件：0.65X，C型接口，可調(diào)焦（可選0.5X/1X） | ● | ● |
偏光組件 | 起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 | ● | ● |
電腦 | 品牌電腦和顯示器 | ● | ● |
測量軟件 | 測量軟件，軟件控制電動物鏡轉(zhuǎn)盤，拍照，錄像，測量，實時圖像拼接，景深融合 | ● | ● |
標尺 | 高精度型測微尺，格值0.01mm | ● | ● |
注：●為標準配置， ○ 為可選購件；
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