Sievers 在線(xiàn)型超純水硼分析儀Boron硼表

Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)超低硼含量的連續(xù)自動(dòng)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)。該分析儀每小時(shí)能夠檢測(cè)10個(gè)樣品，具有15 ppt硼的檢測(cè)極限（LOD）。Sievers硼分析儀設(shè)計(jì)用于滿(mǎn)足設(shè)備管理人員、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

 

借助Sievers超純水硼分析儀對(duì)硼進(jìn)行持續(xù)的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)

Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)超低硼含量的連續(xù)自動(dòng)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)。該分析儀每小時(shí)能夠檢測(cè)10個(gè)樣品，具有15 ppt硼的檢測(cè)極限（LOD）。Sievers硼分析儀設(shè)計(jì)用于滿(mǎn)足設(shè)備管理人員、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。

 

易于操作和維護(hù)

Sievers硼分析儀可以預(yù)測(cè)混床失效、優(yōu)化EDI性能并控制拋光循環(huán)水的硼水平。這款硼分析儀可以在二氧化硅釋放前檢測(cè)到硼含量的增加，這有助于防止二氧化硅滲漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著降低運(yùn)營(yíng)成本，保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。

 

硼分析儀的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

在挑戰(zhàn)的應(yīng)用中提供更高的可靠性和更長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間  

• 連續(xù)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)低至15 ppt的硼

• 多流路選項(xiàng)——多四個(gè)樣品流

• 豐富的輸出選擇——四個(gè)獨(dú)立的4-20 mA輸出，一個(gè)獨(dú)立的RS-232，一個(gè)通用并行打印機(jī)端口，兩個(gè)報(bào)警輸出和四個(gè)獨(dú)立的二進(jìn)制輸出

• 少的維護(hù)與耗材需求

• 配件包包含安裝所需的配件

 

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體超純工藝水

• 超純水電力應(yīng)用

 

運(yùn)行規(guī)格
濃度范圍	0.015至20 ppb B
檢測(cè)限（LOD）	0.015 ppb B
準(zhǔn)確度	± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B
精確度	± 3%或0.005 ppb B（以較高者為準(zhǔn)）
小樣品 電阻率	15 megaohms–cm
樣品溫度	15°-40°C
樣品流速	0.1 -0.5 L/分鐘
環(huán)境溫度	10°C–40°C
樣品壓力	20-100 psig（138-689 kPa）
校準(zhǔn)穩(wěn)定性	通常12個(gè)月
樣品顆粒	15微米樣品預(yù)過(guò)濾
廢物	重力排放（無(wú)背壓）
儀器規(guī)格
輸入	5個(gè)隔離二進(jìn)制輸入
輸出	4個(gè)獨(dú)立4-20 mA輸出，1個(gè)獨(dú)立RS-232，1個(gè)通用并行打印機(jī)端口，2個(gè)報(bào)警輸出，4個(gè)獨(dú)立二進(jìn)制輸出
尺寸	20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸（53 x 44 x 31 cm）
重量	48 lbs（22kg）
認(rèn)證	CE（點(diǎn)擊此處獲取符合性聲明）
耗材
硼試劑	90天（12分鐘取樣率） 45天（6.5分鐘取樣率）
試劑柱	12個(gè)月
零柱	12個(gè)月