干式泵維修

　　iH1800干式泵維修參數(shù)：
 

　　iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
 

　　A59040946
 

　　技術(shù)數(shù)據(jù)
 

　　峰值速度                 1800 m3h-1
 

　　1060 cfm
 

　　30000 l min-1
 

　　極限真空                 1 x 10-3 mbar
 

　　7.5 x 10-4 Torr
 

　　0.1 Pa
 

　　典型軸封氮流量                 4 slm
 

　　進(jìn)氣口連接                 ISO160
 

　　出口連接                 NW40
 

　　15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
 

　　4 l min-1
 

　　重量                         502 kg
 

　　極限功率輸入                 4.1 kW
 

　　電機(jī)額定功率                 7.0 kW
 

　　油容量                         1.6 l
 

　　Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
 

　　iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
 

　　iH1800干式泵維修應(yīng)用：

 

　　負(fù)載鎖
 

　　輸送
 

　　計(jì)量
 

　　平版印刷
 

　　PVD 制程
 

　　PVD 預(yù)清潔
 

　　RTA
 

　　剝離/灰化
 

　　刻蝕
 

　　植入源
 

　　HDP CVD
 

　　RTP
 

　　SACVD
 

　　MCVD
 

　　PECVD
 

　　LPCVD
 

　　ALD
 

　　東莞市上善真空設(shè)備有限公司專(zhuān)業(yè)維修干泵，半導(dǎo)體干泵，干泵，愛(ài)發(fā)科干泵，漢鐘干泵，卡西雅瑪干泵等干泵維修


 

　　東莞市上善真空設(shè)備有限公司集生產(chǎn)銷(xiāo)售、安裝設(shè)計(jì)、維修保養(yǎng)真空設(shè)備、真空氦檢漏儀及通用機(jī)械設(shè)備、精密機(jī)械及自動(dòng)化設(shè)備等產(chǎn)品的企業(yè)。公司主要銷(xiāo)售及維修真空泵品牌有：上善系列單雙級(jí)真空泵、上善螺桿及羅茨真空泵、德國(guó)LEYB0LD真空泵、德國(guó)BUSCH真空泵、德國(guó)RIETSCHLE里其樂(lè)真空泵、德國(guó)BECKER貝克真空泵、英國(guó)EDWARDS真空泵、日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵、德PFEIFFER普發(fā)真空泵、日本ORION真空泵、ATLAS阿*真空泵、美國(guó)AGILENT安捷倫真空泵等進(jìn)口真空泵及真空系統(tǒng)。銷(xiāo)售真空泵配件：真空泵油、油霧分離器、排氣過(guò)濾器、葉片、碳精片、油過(guò)濾器、進(jìn)氣濾芯、空氣總成、散熱風(fēng)扇、風(fēng)扇葉、風(fēng)扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮(zhèn)閥、視油鏡、密封套件、聯(lián)軸器、聯(lián)軸器墊等配件材。 同時(shí)公司還經(jīng)營(yíng)電子材料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等。