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微光刻處理技術(shù)引入3D打印

閱讀:483        發(fā)布時(shí)間:2021/3/19
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   在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域,光刻系統(tǒng)的分辨率比目前3D打印系統(tǒng)的分辨率至少高三~四個(gè)量級(jí)。如何將光刻技術(shù)的高分辨率特點(diǎn)應(yīng)用于3D打印,在提高精度的同時(shí)支持微結(jié)構(gòu)的大面積打???如何降低對(duì)材料特性依賴(lài),提升3D打印保真度和可靠性,適應(yīng)多材料使用,這就是該項(xiàng)目創(chuàng)新的重要意義。將微光刻技術(shù)、精密涂層工藝和大數(shù)據(jù)處理技術(shù)引入3D打印,實(shí)現(xiàn)了微納3D打印的三大創(chuàng)新。
  首先,提出了柔性薄膜送膠與涂層工藝相結(jié)合,常規(guī)膠層厚度1微米-10微米,理論上,膠厚可控制到亞微米。薄膜送膠的特點(diǎn)是每層打印的圖形獨(dú)立曝光,層與層間的曝光互不影響,根本上消除了傳統(tǒng)光固化3D打印累積曝光對(duì)結(jié)構(gòu)展寬的影響,實(shí)現(xiàn)了高深寬比、密集微結(jié)構(gòu)的高保真3D打印。
  第二,提出了將縮微投影光學(xué)系統(tǒng)、大數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)處理與3D分層曝光技術(shù)相結(jié)合,常規(guī)圖形分辨率0.5微米-2微米,理論上,可做達(dá)0.2微米。采用空間光調(diào)制、大數(shù)據(jù)壓縮與掃描拼接曝光技術(shù),攻克了高分辨率圖形大面積打印的難題,從而,實(shí)現(xiàn)了3D打印的高精度與大面積的協(xié)同。
  第三,提出了多噴頭供膠模式,控制打印涂層厚度及組合,在逐層打印時(shí),提供不同特性、不同成分的打印材料,降低了對(duì)材料特性的依賴(lài),實(shí)現(xiàn)多全新功能材料3D打印,材料消耗和價(jià)格大幅下降。
        德國(guó)Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會(huì)展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX,并榮獲創(chuàng)新獎(jiǎng)。該系統(tǒng)是世界first基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。
 

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