德國(guó)Nanoscribe雙光子高精度微納3D打印系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)
隨著結(jié)構(gòu)的微小化,已有多種3D打印方案,但都存在諸多限制,未能有效解決打印尺寸與微結(jié)構(gòu)精度之間的矛盾,3D結(jié)構(gòu)打印的保真度與可靠性不佳。在諸多打印方案中,市場(chǎng)上有兩種微結(jié)構(gòu)3D打印技術(shù):
1、利用超快激光和材料非線性的“雙光子3D打印“,分辨率高,理論可達(dá)0.1微米。串行寫(xiě)入模式,效率極低、對(duì)環(huán)境穩(wěn)定要求*;耗時(shí)長(zhǎng),打印可靠性低;打印尺寸<300微米;受制于打印材料的非線性特性和處理工藝限制,3D結(jié)構(gòu)打印一致性很難保證。
2、光固化3D打印(SLA),采用光固化膠槽的供膠、利用DLP投影光學(xué)系統(tǒng),逐層打印,形成3D結(jié)構(gòu)。通常采用的光學(xué)系統(tǒng)投影比例1:1,SLA打印面積>7毫米X5毫米(單幀),分辨率>7微米,打印特征尺寸>50微米。提高分辨率,意味著打印面積變小。由于分層打印過(guò)程中的累積曝光效應(yīng),深微結(jié)構(gòu)易展寬,產(chǎn)生較大結(jié)構(gòu)失真。為降低累積曝光對(duì)3D結(jié)構(gòu)展寬的影響,SLA打印要求光固化膠對(duì)光有強(qiáng)吸收,導(dǎo)致材料成本升高,3D打印的保真度與打印膠的特性嚴(yán)重依賴(lài)。
因此,已有3D打印方案都存在打印面積與微結(jié)構(gòu)分辨率不兼容、打印保真度和可靠性不佳等問(wèn)題;對(duì)打印材料的特性依賴(lài)嚴(yán)重,材料價(jià)格昂貴。已有3D打印設(shè)備,均不支持微光刻的功能。
德國(guó)Nanoscribe雙光子高精度微納3D打印系統(tǒng)PhotonicProfessionalGT2可以解決以上問(wèn)題,是目前*的打印精度高的3D打印機(jī)。跟傳統(tǒng)的以激光立體光刻為代表的高精3D打印機(jī)相比,利用雙光子微光刻原理的高精度3D微納打印系統(tǒng)PPGT2系列能夠輕松打印出精細(xì)結(jié)構(gòu)分辨率高出100倍的三維微納器件。