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雙光子無(wú)掩膜光刻的原理介紹
一、受益于雙光子灰度光刻對(duì)體素的微調(diào)，該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達(dá)到超光滑，同時(shí)保持高精度的形狀控制。從納米到介觀尺度原型制作：同類中先的3D打印系統(tǒng)。可打印任何形狀，已被工業(yè)界認(rèn)可的QuantumX平臺(tái)的二代加工系統(tǒng)。
二、原理作用過(guò)程：
(1)通過(guò)系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來(lái)大大提高實(shí)用性。通過(guò)系統(tǒng)自帶的nanoConnectX軟件來(lái)進(jìn)行打印文件的遠(yuǎn)程監(jiān)控及多用戶的使用配置，實(shí)現(xiàn)推動(dòng)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化及基于晶圓批量效率生產(chǎn)。
(2)不僅是應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、微光學(xué)、MEMS、微流道、表面工程學(xué)及其他很多領(lǐng)域中器件的快速原型制作的理想工具，同時(shí)也成為基于晶圓的小結(jié)構(gòu)單元的批量生產(chǎn)的簡(jiǎn)易工具。
三、特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
1.自動(dòng)化自校準(zhǔn)路徑保證的高精度激光能量控制及定位
2.可達(dá)6英寸基片和硅片的廣泛選擇
3.工業(yè)化批量生產(chǎn)：200個(gè)標(biāo)準(zhǔn)介觀尺度結(jié)構(gòu)通宵產(chǎn)量
4.保證實(shí)用性和體驗(yàn)感的觸控屏和遠(yuǎn)程控制功能
5.快速原型制作，高精度，高設(shè)計(jì)自由度，簡(jiǎn)易明了的工作流程
6.工業(yè)驗(yàn)證的晶圓級(jí)批量生產(chǎn)