JH-Ⅵ-1電阻溫度特性測(cè)定儀（阻溫函數(shù)儀）

JH-Ⅵ-1電阻溫度特性測(cè)定儀（阻溫函數(shù)儀）該儀器采用*的電子、數(shù)控技術(shù)，用于測(cè)試各種導(dǎo)電材料介質(zhì)（電阻）的阻值隨溫度變化的值，通過(guò)繪制電阻，溫度由線，可以直觀地定性分析電阻溫度變化率。適用于大專院校電子材料實(shí)驗(yàn)室等的研究和各教學(xué)演示用。

JH-Ⅵ-1電阻溫度特性測(cè)定儀（阻溫函數(shù)儀）主要技術(shù)參數(shù)：

1.溫度范圍：室溫—600℃；

2.電阻范圍：0—1MΩ，20MΩ，100MΩ等。（可選擇）

3.加熱功率：0—300W可調(diào)；

4.電源：220V±10﹪  頻率：50HZ；

5.環(huán)境溫度：0—40℃；

6.環(huán)境濕度：≤85℃﹪

電阻溫度系數(shù)的定義與它的內(nèi)在物理含義，隨著電阻溫度系數(shù)的增加，金屬應(yīng)該具有更好的電遷移性能和應(yīng)力遷移性能。為驗(yàn)證此種結(jié)論，我們對(duì)一個(gè)銅工藝技術(shù)的研發(fā)過(guò)程中不同階段的電遷移測(cè)試的歷史數(shù)據(jù)（失效時(shí)間與電阻溫度系數(shù)）進(jìn)行了總結(jié)，電遷移失效時(shí)間和電阻溫度系數(shù)是在相同的測(cè)試結(jié)構(gòu)以及測(cè)試條件下得到的，不同的只是制造工藝。電阻溫度系數(shù)與失效時(shí)間具有正相關(guān)性，大的電阻溫度系數(shù)具有比較長(zhǎng)的失效時(shí)間。電阻溫度系數(shù)變化10%時(shí)，失效時(shí)間變化了一個(gè)數(shù)量級(jí)，可見(jiàn)電阻溫度系數(shù)是一個(gè)可以反映金屬性能的非常敏感的參數(shù)，能夠?qū)饘倏煽啃赃M(jìn)行早期評(píng)估。

在兩組工藝的電阻溫度系數(shù)相差較小時(shí)，電遷移失效時(shí)間也比較接近，但并不*服從正相關(guān)性。這說(shuō)明在電阻溫度系數(shù)沒(méi)有明顯差異時(shí)（<1%），我們不能僅僅根據(jù)電阻溫度系數(shù)的大小來(lái)判斷工藝的好壞，結(jié)論會(huì)受到電阻溫度系數(shù)本身的測(cè)量精度及電遷移測(cè)試精度的影響。

為了研究電阻溫度系數(shù)測(cè)量精度對(duì)可靠性測(cè)試的影響，我們安排了兩組芯片級(jí)恒溫電遷移測(cè)試在同一片晶圓上，一組樣品使用實(shí)際測(cè)量的電阻溫度系數(shù)（0.002921/K），一組使用原先的電阻溫度系數(shù)（0.002970/K）。原有的比較大的電阻溫度系數(shù)具有比較短的失效時(shí)間。從數(shù)據(jù)上看，結(jié)果似乎與先前的正相關(guān)性相反，為了解釋這個(gè)矛盾，我們需要研究電阻溫度系數(shù)在恒溫電遷移測(cè)試中的作用。恒溫電遷移測(cè)試是通過(guò)電流的焦耳熱對(duì)金屬進(jìn)行加熱并保持在一個(gè)恒定的溫度上，溫度是根據(jù)電阻與溫度的關(guān)系計(jì)算的。

實(shí)際測(cè)試中，測(cè)試程序會(huì)根據(jù)給定的條件利用公式計(jì)算出測(cè)試溫度下的電阻，并在測(cè)試中當(dāng)測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值到達(dá)此目標(biāo)阻值時(shí)認(rèn)為溫度到達(dá)測(cè)試溫度。如果給定的電阻溫度系數(shù)大于實(shí)際值，計(jì)算出來(lái)的目標(biāo)阻值將會(huì)大于實(shí)際的阻值，這意味著實(shí)際的測(cè)試溫度高于設(shè)定的溫度。

因此，給定的比較大的電阻溫度系數(shù)將會(huì)的到比較短的失效時(shí)間。電阻溫度系數(shù)的誤差將引起相同比例的測(cè)試溫度的誤差，例如對(duì)于一個(gè)300 度的測(cè)試來(lái)說(shuō)，1%的電阻溫度系數(shù)的誤差將引起3 度的測(cè)試誤差和更大的失效時(shí)間的誤差。這從另一方面說(shuō)明了電阻溫度系數(shù)測(cè)量的準(zhǔn)確性對(duì)測(cè)試結(jié)果以及金屬性能判定的重要性。需要指出的是，電阻與溫度的線性關(guān)系只是在一定的溫度范圍內(nèi)（0 - 180℃）保持恒定，電阻溫度系數(shù)的測(cè)量需要在此溫度范圍內(nèi)完成。