LED和化合物半導體制造的新型真空泵

干泵技術(shù)包括羅茨泵、爪式泵和螺桿式技術(shù)，Edwards新型CXS真空泵等干泵設(shè)備的一個關(guān)鍵優(yōu)勢就是它們不使用水或油來進行真空階段的密封或潤滑，因而這些設(shè)備的運行成本非常經(jīng)濟，可讓用戶優(yōu)化真空工藝，并大限度地降低總體擁有成本。

　　干泵消除了工藝過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統(tǒng)的風險，它們不會產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境。正因為這樣，與基于液體的水環(huán)泵、油封泵和蒸汽噴射系統(tǒng)相比，干泵設(shè)備除了能夠提高速度、工藝可重復性、靈活性和生產(chǎn)率之外，還能夠顯著節(jié)省運營成本、維護成本和安裝空間。

　　易于使用的CXS泵系列采用的錐形螺桿技術(shù)，具有*的可靠性，而且安裝簡單、環(huán)保并提供更高的液態(tài)和固態(tài)物處理能力。

　　*的螺桿技術(shù)能夠沿著轉(zhuǎn)子(rotor)提供平滑的漸進壓縮，從而在所有入口壓力下提供改進的熱量控制和抽空。此外，CXS泵的特點是具有*的溫度管理系統(tǒng)(temperature management system, TMS)，將溫度保持在可控制的水平上，實現(xiàn)工藝性能的優(yōu)化。

　　創(chuàng)新的CXS泵設(shè)計包含了有助于實現(xiàn)出色性能的新穎壓縮和馬達技術(shù)，相比標準的馬達及整體驅(qū)動和控制系統(tǒng)，使用浸沒式空氣間隙封裝馬達(flooded air-gap potted motors)，效率大大提高，從而降低總體擁有成本。