真空系統(tǒng)的工藝要求

鍍膜機：已被廣泛應用于塑料、工藝禮品、包裝、光學、電子、玩具、建材、五金、鐘表、飾品、汽車等行業(yè)，鍍膜機營銷范圍遍及全國。我們在操作流程上，從采購原料、設(shè)備制造、經(jīng)營管理、技術(shù)員的現(xiàn)場安裝調(diào)試到售后服務(wù)形成了一條有序的、完善的質(zhì)量管理體系。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
　　根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應要求，轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

　　真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應流量參數(shù)。根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應儀表測量。根據(jù)設(shè)備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。完善的報警系統(tǒng)，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。