HITACHI CG 4100臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）

分辨率：1.8 nm產(chǎn)量：42片/小時(shí)MAM 時(shí)間：2.8 秒級(jí)著陸精度：±1μm

Hitachi CG 4100 是一款關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 （CD-SEM），專(zhuān)為半導(dǎo)體和納米技術(shù)領(lǐng)域的高性能應(yīng)用而設(shè)計(jì)。主要規(guī)格和功能包括：

1. 分辨率：CG 4100 提供高分辨率成像功能，分辨率低至 1.8 納米，這對(duì)于詳細(xì)分析材料和半導(dǎo)體器件中的小特征至關(guān)重要。

2. 吞吐量：該系統(tǒng)每小時(shí)可處理多達(dá) 42 片晶圓，適用于大批量制造環(huán)境。

3. 載物臺(tái)精度：載物臺(tái)著陸精度為 ±1 微米，確保精確定位以實(shí)現(xiàn)一致的測(cè)量。

4. 高壓操作：顯微鏡在高達(dá)150kV的加速電壓下工作，為更好的成像和分析提供高能量。

5. 成像和分析：CG 4100 配備先進(jìn)的電子光學(xué)元件和強(qiáng)大的電子槍?zhuān)商峁┏錾膱D像清晰度和清晰度。它還包括自動(dòng)對(duì)焦和導(dǎo)航系統(tǒng)，以提高易用性和效率。

6. 軟件和自動(dòng)化：CG 4100 具有智能自動(dòng)化功能，包括自動(dòng)機(jī)械臂、圖像分析軟件和可定制的配置，以滿(mǎn)足各種用戶(hù)需求。這樣可以快速準(zhǔn)確地收集和分析數(shù)據(jù)。

7. 模塊化設(shè)計(jì)：模塊化設(shè)計(jì)允許使用不同的探測(cè)器和載物臺(tái)進(jìn)行可定制的配置，以適應(yīng)特定應(yīng)用，例如吸收和發(fā)射光譜、高分辨率成像和能量色散光譜。

這些特性使 Hitachi CG 4100 成為各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用中詳細(xì) 3D 成像和分析的理想選擇