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技術(shù)文章

GEMU蓋米閥門(mén)解決方案|半導(dǎo)體工藝中的背壓與流量控制

閱讀:91          發(fā)布時(shí)間:2024-12-20

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,確保晶圓處理過(guò)程中介質(zhì)流量和壓力的精準(zhǔn)控制對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。流量的波動(dòng),通常由出口的開(kāi)關(guān)操作引起,可能會(huì)對(duì)晶圓的質(zhì)量造成不利影響。在這一背景下,背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,它能夠保證在各個(gè)出口獨(dú)立控制的情況下,管線中的流量與壓力依然保持恒定。


 

以化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)漿料應(yīng)用為例:

這一步驟對(duì)于晶圓的拋光至關(guān)重要。通過(guò)精確控制漿料的供應(yīng)量,可以優(yōu)化材料的去除過(guò)程。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性,從而保障了CMP過(guò)程的均勻性和效率,這對(duì)于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義。

 

 

  • 工藝流程圖

 





解決方案



米推出GEMÜ C53 iComLine電動(dòng)控制閥,憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性,成為實(shí)現(xiàn)背壓控制的理想選擇。

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蓋米HydraLine系列電子壓力計(jì)的配合使用,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)壓力的精確測(cè)量,進(jìn)一步確保生產(chǎn)線的穩(wěn)定性。

 


方案優(yōu)勢(shì)


ADVANTAGES


結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品,提供全面的一體化解決方案;GEMÜ C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制GEMÜ C33壓力傳感器,提供精確的壓力測(cè)量。


提供多種連接類型,包括擴(kuò)口、入珠、PrimeLock、Nexus Connect®,以滿足多樣化的工藝需求;連接尺寸范圍廣泛,從1/4"到3/4",適用于不同的設(shè)備和工藝要求。


所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料,確保耐腐蝕性和純凈度。

  • 適配產(chǎn)品推薦

 

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蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和zhuo越品質(zhì),助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高標(biāo)準(zhǔn)。我們期待與您攜手,共同提升工藝效率。如需了解更多信息,請(qǐng)聯(lián)系蓋米閥門(mén)中國(guó)


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