詳細(xì)摘要： 在進(jìn)行晶圓測(cè)試時(shí)，需要MSA晶圓加熱載臺(tái)具有設(shè)置表面溫度的功能，特別是可以從常溫到高溫范圍內(nèi)設(shè)置的卡盤，以便再現(xiàn)裝入狀態(tài)或進(jìn)行加速測(cè)試。