AR膜缺陷檢測系統(tǒng)

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)是用于玻璃基板防反射涂層的缺陷檢查設(shè)備。 用倒置顯微鏡和線型攝像機(jī)對透明基板的表面和背面進(jìn)行高速掃描和檢測，并顯示檢測結(jié)果。
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)特點和功能 
1.目標(biāo)基板 大400mm，透明基板自動對焦檢測。
2.檢測缺陷：AR膠片基板上的白色異物（缺失）或黑色異物，檢測分辨率2.8μm（1.4μm）。
3.遠(yuǎn)程控制復(fù)核檢查， 攝像機(jī)/照明/物鏡變化/舞臺和焦點。
緊湊的設(shè)計，采用倒置光學(xué)系統(tǒng)，高性能的線相機(jī)和復(fù)查相機(jī)檢測。
檢驗艙門升起，將板子放在支架上進(jìn)行高速清潔檢驗。 配有水平FFU
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)性能

正常模式：5倍，分辨率2.8μm，檢測面/寬度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式：10倍，分辨率1.4μm：檢測面/寬度1.5mm×40mm/秒+α。
另有標(biāo)記功能