萊寶真空泵D40B

TRIVAC E and B 系列雙級(jí)油封旋片泵

德國萊寶真空泵D40B,的主要技術(shù)參數(shù)為：

抽速：1.6m3/h～65m3/h

極限真空度：10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓)

2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))

5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))

耐水蒸汽能力：25mbar～40mbar

德國萊寶真空泵D40B,的主要特點(diǎn)：

1、內(nèi)置油泵，對泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作. 

2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥，可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止，防止返油。

3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。

4、*的耐水蒸汽能力。

另外，歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。

> 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。

> 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX，ATEX認(rèn)證防爆泵。

> 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
真空泵目前應(yīng)用越來越廣泛，尤其是在半導(dǎo)體、化工等一些工況可能比較惡劣的應(yīng)用行業(yè)里。今天就來講一講，在真空泵應(yīng)用中防止泵內(nèi)出現(xiàn)顆粒物的解決方法：
1、適當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù)，隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產(chǎn)的氯化鋁，在對應(yīng)壓力下，其在80℃就會(huì)開始?xì)饣虼嗽趯⒈脙?nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。 
2、降低會(huì)反應(yīng)氣體的濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反應(yīng)生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關(guān)，所以在真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應(yīng)氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個(gè)方法也會(huì)用內(nèi)溫度冷卻，防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等，也可以防止介質(zhì)達(dá)到著火極限等可能，如CVD工藝中可能的爆炸。 
3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積，使氣體的流動(dòng)速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點(diǎn)一樣，在不影響真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。