目錄:國儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司>>掃描電子顯微鏡>>掃描電鏡SEM>> SEM3200國產(chǎn)電鏡鎢燈絲掃描電子顯微鏡
背散射電子圖像分辨率 | 4 nm @ 30 kV | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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二次電子圖象分辨率 | 3 nm @ 30 kVnm | 放大倍數(shù) | 1-300,000x(底片倍率) 1-1000,000x(屏幕倍)x |
加速電壓 | 0.2 kV~30 kVkV | 價格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
儀器種類 | 鎢燈絲 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
國產(chǎn)電鏡鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3200是一款高性能、應(yīng)用廣泛的通用型鎢燈絲掃描電子顯微鏡。擁有出色的成像質(zhì)量、可兼容低真空模式、在不同的視場范圍下均可得到高分辨率圖像。
大景深,成像富有立體感。豐富的擴展性,助您在顯微成像的世界中盡情探索。
產(chǎn)品特點(*為選配件)
鎢燈絲掃描電子顯微鏡特色功能
豐富拓展性
掃描電子顯微鏡不僅局限于表面形貌的觀察,更可以進行樣品表面的微區(qū)成分分析。
SEM3200接口豐富,除支持常規(guī)的二次電子探測器(ETD)、背散射電子探測器(BSED)、X射線能譜儀(EDS)外,也預(yù)留了諸多接口,如電子背散射衍射(EBSD)、陰極射線(CL)等探測器都可以在SEM3200上進行集成。
背散射電子探測器
二次電子成像和背散射電子成像對比
背散射電子成像模式下,荷電效應(yīng)明顯減弱,并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。
應(yīng)用案例
型號 | SEM3200A | SEM3200 | ||
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電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍類型 | 預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍 | ||
分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
*低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
1-1000,000x(屏幕倍) | ||||
加速電壓 | 0.2 kV~30 kV | |||
成像系統(tǒng) | 探測器 | 二次電子探測器(ETD) | ||
背散射電子探測器、低真空二次電子探測器、*能譜儀EDS等 | ||||
圖像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空 | 優(yōu)于5×10-4 Pa | |
低真空 | 5~1000 Pa | |||
控制方式 | 全自動控制 | |||
渦輪分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
機械泵 | 200 L/min (50 Hz) | |||
樣品室 | 攝像頭 | 光學(xué)導(dǎo)航 | ||
樣品倉內(nèi)監(jiān)控 | ||||
樣品臺配置 | 三軸自動 | 五軸自動 | ||
行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
/ | R: 360° | |||
/ | T: -10°~ +90° | |||
軟件 | 語言 | 中文 | ||
操作系統(tǒng) | Windows | |||
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快速導(dǎo)航 | |||
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | |||
特色功能 | 智能輔助消像散、*大圖拼接(選配軟件) | |||
安裝要求 | 房間 | 長 ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | ||
溫度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
濕度 | ≤ 50 % | |||
電氣參數(shù) | 電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)