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七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計(jì)CS系列
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專(zhuān)門(mén)為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,采用了基于DF的壓力信號(hào)補(bǔ)小償算法,全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝,產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn),支持Ⅵ型,C型GS氣路系統(tǒng)。
優(yōu)勢(shì)
• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度,產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.,響應(yīng)時(shí)間下限快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能,對(duì)前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償,減少壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量影響,從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線(xiàn)性。
• g端產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下,嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計(jì)CS系列汽車(chē)電子
在汽車(chē)裝飾鍍膜、汽車(chē)噴涂、零部件制造中會(huì)對(duì)氣體進(jìn)行j準(zhǔn)控制,SEVENSTAR提供的產(chǎn)品可以滿(mǎn)足汽車(chē)工藝中對(duì)氣體使用的嚴(yán)格要求。
石油化工
SEVENSTAR提供耐高壓、大量程的產(chǎn)品在石油冶煉、催化裂解等工藝中使用,可滿(mǎn)足石化行業(yè)特殊環(huán)境的工作要求。