七星華創(chuàng)D07系列氣體流量計(jì)
D07-9是熱式質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-9產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。
七星華創(chuàng)D07系列氣體流量計(jì)優(yōu)勢(shì)
• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
2. 用途和特點(diǎn) 質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì) 量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和 控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、、環(huán)保和真 空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。 D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、 穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任 意位置安裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。 D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,
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