七星華創(chuàng)D07系列HEhe氦氣質(zhì)量流量計
氣路接頭形式 采用標準雙卡套 (Swagelok)接頭和 VCR 接頭, 可提供 7 種接管外徑的接頭類型: a. Swagelok φ6 mm 雙卡套; b. Swagelok φ3 mm 雙卡套; c. Swagelok 1/4" (英制); d. Swagelok 1/8" (英制); e. VCR(1/4"接管外徑); f. φ6(內(nèi))×1 軟管; g φ4(內(nèi))×1 軟管。 雙卡套接頭一般用金屬管將質(zhì)量流量控制器與氣路相連接,在要求不高的情況下也可 以用尼龍管或其它較硬的彈性塑料管。雙卡套接頭的連接方法, 注意流量計 通道上的箭頭指示的方向是氣流方向, 進出氣方向不能接反。
七星華創(chuàng)D07系列HEhe氦氣質(zhì)量流量計安裝接管時,在裝上前卡套、后卡套、螺母后,先用手將螺母與接頭擰緊, 再用扳手擰緊(國外進口的 Swagelok 接頭要求用扳手旋轉(zhuǎn) 1.25 圈擰緊),以保證不漏氣。注 意應(yīng)該使用雙扳手操作,用一只扳手卡住接頭不動,用另一只扳手旋轉(zhuǎn)螺母。特別是在拆卸 接管時必須使用雙扳手操作,否則會引起接頭松動,影響密封。
連接電纜插頭 質(zhì)量流量控制器通過電纜與配套流量顯示儀連接后, 即可通電通氣工作。
調(diào)零和外調(diào)零 使用或工作一段時間后,若發(fā)現(xiàn)零點偏移, 可以調(diào)整。擰下外罩上的螺釘,揭開外 罩,然后調(diào)整調(diào)零電位器。揭開外罩的方法如圖 13 所示,調(diào)零電位器位置示意如圖 14 所 示。注意:調(diào)零時流量管路不能通氣(或?qū)㈤y門關(guān)閉);必須在開機預熱 15 分鐘以上,待 流量計零點穩(wěn)定以后進行。