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ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產(chǎn)品系列的新成員。正在申請利的設(shè)計允許利用具有挑戰(zhàn)性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管，因此與其他 ALD 閥相比，可促進(jìn)清潔操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 閥可以*熱浸在氣箱中，并可以從 50°F （10°C） 加熱到 392°F （200°C）。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
世偉洛克VAR ALD原子沉積隔膜閥
ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產(chǎn)品系列的新成員。正在申請利的設(shè)計允許利用具有挑戰(zhàn)性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管，因此與其他 ALD 閥相比，可促進(jìn)清潔操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 閥可以*熱浸在氣箱中，并可以從 50°F (10°C) 加熱到 392°F (200°C)。
規(guī)格
工作壓力 真空 20 psig (1.4 bar)
爆裂壓力 >3200 psig (220 bar)
執(zhí)行壓力 70 90 psig（4.8 6.2 bar）
溫度 50° 392°F（10° 200°C）
流量系數(shù) (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型）
閥體材料 316L VIM-VAR 或合金 22
波紋管材料 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度）
端接
世偉洛克VAR ALD原子沉積隔膜閥
類型（尺寸） 內(nèi)螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
可旋轉(zhuǎn)外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
卡套管對焊，長 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.)
模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.)
安全的產(chǎn)品選擇： 請務(wù)必查看全部產(chǎn)品目錄內(nèi)容以保證系統(tǒng)設(shè)計者和用戶進(jìn)行安全的產(chǎn)品選擇。選擇產(chǎn)品時，必須考慮總體系統(tǒng)設(shè)計以保證獲得安全的、*的性能。功能、材料兼容性、充分的額定值、正確的安裝、使用和維護(hù)是系統(tǒng)設(shè)計者和用戶的重要責(zé)任。