工業(yè)廢水處理用臭氧發(fā)生器采用電暈放電技術，工業(yè)、生活和醫(yī)院廢水中產(chǎn)生的臭氧幾乎全部用于工業(yè)生產(chǎn)。產(chǎn)生的臭氧可用于含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物廢水的初步處理，也可用于含F(xiàn)e2+、Mn2+、苯酚、親水性染料、細菌廢水的初步處理。隨著水資源的日益短缺，工業(yè)和城市生活污水往往經(jīng)過處理后再利用，因此有必要提高污水處理標準。通過臭氧深度處理，可以去除水中的各種雜質(zhì)，達到回收標準。臭氧處理醫(yī)院污水可用于消毒滅菌。

用工業(yè)廢水處理用臭氧發(fā)生器處理醫(yī)院污水，可以切斷傳染源，解除后顧之憂。而且臭氧可以在幾分鐘內(nèi)殺死所有病毒，比等效氯快200~3000倍。城市污水處理系統(tǒng)工程也開始使用大型臭氧發(fā)生器對生活污水進行滅菌除臭。在循環(huán)冷卻水和鍋爐給水中，需要對水進行深度處理，臭氧可以去除形成污垢的雜質(zhì)，防止管道堵塞。要達到這個目的，當然首先要去除氨，否則去除氨會分解殘留的臭氧，不利于維持臭氧氧化效率。一般來說，殘余臭氧應保持在約0.5毫克/升，只有美國用臭氧處理循環(huán)冷卻水，而包括中國在內(nèi)的其他國家還處于試驗階段。飲用水采用臭氧消毒滅菌時，沒有有害殘留物（如致癌的鹵代有機化合物的氯消毒），對于提高飲用水的消毒質(zhì)量非常有效。