廢水處理分為三個階段：首要階段為預處理，主要采用機械方法，通過格柵、沉淀或氣浮去除廢水中的懸浮物和部分有機物；二級處理一般采用生物法，可以大大去除水中的膠體有機物和溶解有機物；三級處理又稱深度處理，可以進一步去除二級處理無法去除的污染物，如磷、氮、難生物降解的有機污染物、無機污染物、病原體等，達到二級處理無法達到的脫色、除臭目標，達到改善水質和國家相關排放標準的要求，廢水可循環(huán)利用。

廢水深度處理工藝主要包括臭氧發(fā)生器氧化處理廢水、活性炭吸附、膜分離等。由于臭氧具有強氧化、強滅菌消毒的特點，除臭功能難以替代，因此在許多情況下需要利用廢水處理用設備臭氧發(fā)生器技術對廢水進行深度處理，以達到更好的處理效果。在廢水的深度處理中，臭氧可以用來去除化學需氧量和生化需氧量，破壞有害化學物質。臭氧及其產生的活性OH自由基破壞廢水中發(fā)色團的不飽和鍵，生成小分子酸和醛，以及低分子量有機物，大大降低水體的色度，氧化廢水中的金屬離子沉淀不溶物，有利于絮凝，提高沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環(huán)水中COD和AO。

臭氧在降低污水中COD含量、提高水質標準、達到A級排放標準、中水回用等方面發(fā)揮著*的作用。廢水處理用設備臭氧發(fā)生器已廣泛應用于城市污水處理。在中水處理領域，臭氧+膜生物反應器工藝組合技術作為有效工藝之一，得到了越來越多的應用。