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膜厚量測(cè)儀

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) FE-300
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 蘇州市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2020-08-06 11:26:50瀏覽次數(shù):1321

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,電子,汽車,綜合
產(chǎn)品信息
特 長(zhǎng)
薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測(cè)儀
藉由反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000機(jī)種90%的強(qiáng)大功能
無(wú)復(fù)雜設(shè)定,操作簡(jiǎn)單,短時(shí)間內(nèi)即可上手
線性小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))
測(cè)量項(xiàng)目
? 反射率測(cè)量
?膜厚解析(10層)
?光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率、k:消光系數(shù))

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息

特 長(zhǎng)

薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析

高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測(cè)儀

藉由反射率光譜分析膜厚

完整繼承FE-3000機(jī)種90%的強(qiáng)大功能

無(wú)復(fù)雜設(shè)定,操作簡(jiǎn)單,短時(shí)間內(nèi)即可上手

線性小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))

測(cè)量項(xiàng)目

  • 反射率測(cè)量

  • 膜厚解析(10層)

  • 光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率、k:消光系數(shù))

產(chǎn)品規(guī)格

樣品尺寸

大8寸晶圓(厚度5mm)

測(cè)量時(shí)間

0.1s ~ 10s以內(nèi)

量測(cè)口徑

約φ3mm

通訊界面

USB

尺寸重量

280(W)× 570(D)×350(H)mm,約24kg

軟體功能

標(biāo)準(zhǔn)功能

波峰波谷解析、FFT解析、適化法解析、小二乘法解析

選配功能

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

※1 請(qǐng)于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對(duì)比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si),范圍值同保證書所記載
※3 測(cè)量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si)同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。(擴(kuò)充系數(shù)2.1)

應(yīng)用范圍

半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
光學(xué)薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

測(cè)量范例

  • PET基板上的DLC膜

    item_0005FE-300_sub001.gif

  • item_0005FE-300_sub002.gif

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