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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
四點(diǎn)探針臺(tái)
使用四點(diǎn)探針臺(tái),機(jī)臺(tái)的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數(shù)固定,當(dāng)探頭的探針點(diǎn)在基板上時(shí), 附有內(nèi)藏彈簧的探針會(huì)將四根針同時(shí)收縮,在固定的下壓應(yīng)力使測(cè)量的穩(wěn)定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測(cè)量.在制程改進(jìn)方面只要將V/I這個(gè)數(shù)值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它系數(shù)做太復(fù)雜的演算.可以選購(gòu)奕葉的軟件使操作簡(jiǎn)單化及自動(dòng)化,適用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、OLED、微機(jī)電、燃料電池等各式產(chǎn)業(yè)。
一、規(guī)格
l 探針間距：40mil，62.5 mil
l 探針壓力：80g
l 探針材質(zhì)：BeCu Tungsten Carbide
l 高溫選配：High Temp. 200 ℃
l 卡盤(pán)尺寸可選擇：6英寸、8英寸、12英寸；
l 材料：特氟龍
l 探針升降長(zhǎng)度：10毫米
l 探針臺(tái)Z軸升降精度為：1微米
l 探針材質(zhì)：碳化鎢、鈹銅合金
l 探針距離：40mil、50mil、62.5mil
l 彈簧探針力度：45grams、85grams、180grams
l 探針直徑：40.6微米
l 尺寸：220mm長(zhǎng)x420mm寬x250mm高
l 重量：20Kg
二、特點(diǎn)
l 可垂直上下移動(dòng)
l 特殊恒定負(fù)載的彈簧探針
l 恒定的探針間距
l 可保持極大程度的重復(fù)性測(cè)試
l 探頭方便更換
l 探針臺(tái)頂部可調(diào)整Z軸移動(dòng)
l 穩(wěn)固的連接線在探針臺(tái)后面
l 轉(zhuǎn)接頭可選擇：Banana/ BNC/ Triaxial Female
l 卡盤(pán)可快速移動(dòng)
l 可以配合加熱吸盤(pán)使用
l 卡盤(pán)尺寸可以選擇：6英寸、8英寸、12英寸
l 氣動(dòng)的SR-4可用開(kāi)關(guān)控制升降
三、應(yīng)用
l 薄膜偏電阻 Sheet Resistivity
l 體積偏電阻 Volume Resistivity
l 導(dǎo)電率Doping Quality
l 金屬膜厚Metalization Thickness
l P/N極性P/N Typing
l 電流電壓I-V特性 V/I Measurement
四、其他應(yīng)用
l 高阻低電流
l 溫度環(huán)境下量測(cè)RT~200℃
l 超高溫RT~1200 ℃
l 無(wú)氧環(huán)境下
l 微小間距小10 micron
l 大面積尺寸基板1200mm×900mm
l 儀器結(jié)合軟件
l 自動(dòng)移動(dòng)測(cè)量