帶內(nèi)置軸承的HEIDENHAIN海德漢旋轉(zhuǎn)編碼器

海德漢 ROD 880C 36000 03S12-03  ID：383 601-12

測量原理

測量基準 測量方法

海德漢光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測量基

準都是周期刻線－光柵。在玻璃或鋼基體

上用不同的光刻工藝刻制的光柵。

光柵的材質(zhì)包括：

• 玻璃上的超硬鉻線

• 鍍金鋼帶上蝕刻的柵線

• 在玻璃或鋼基體上蝕刻的三維柵線結(jié)構(gòu)

海德漢開發(fā)的光刻工藝可出典型

柵距僅50 µm至4 µm的光柵。

用海德漢光刻工藝的光柵邊緣清晰、

一致性優(yōu)異，可達到極小柵距。獲得高質(zhì)

量輸出信號的關(guān)鍵是將高質(zhì)量光柵與光電

掃描法一起使用。

母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻機制造。

感應(yīng)掃描編碼器使用金屬柵線或銅/鎳合金

柵線結(jié)構(gòu)。柵線刻印在基體材料上。

測量法是指光柵尺或編碼器在通電時

立即提供位置值并供下游電子電路隨時讀

取。因此，無需點動運動軸進行參考點回

零操作。位置信息由圓碼盤提供，圓

碼盤含編碼的柵狀結(jié)構(gòu)。

獨立的增量刻軌信號在細分后生成位置

值，同時生成可選的增量信號。

單圈旋轉(zhuǎn)編碼器每轉(zhuǎn)一圈重復(fù)位置信

息。多圈編碼器還能區(qū)分其它各圈。 

綜合資料

DIADUR精密光柵是在基板上沉淀一層極

薄的鉻，基板通常為玻璃或玻璃陶瓷材

質(zhì)。這種光柵尺精度可達到微米級或亞微米級。

安裝

將旋轉(zhuǎn)編碼器的空心軸插入被測軸并用兩

個螺栓或三個偏心夾將其固定在轉(zhuǎn)子端。

空心軸旋轉(zhuǎn)編碼器也能固定在外殼端。特

別適用于頻繁安裝的旋轉(zhuǎn)編碼器是ECN/

EQN/ERN 1300系列，這些編碼器采用錐

度軸結(jié)構(gòu)（參見伺服驅(qū)動編碼器樣本）。

無需定心環(huán)可將定子安裝在平表面上。

ECN/EQN/ERN 400的萬能定心聯(lián)軸器適

用于多種不同的安裝環(huán)境；例如用其螺紋

從電機外安裝到電機殼上。

METALLUR

METALLUR光柵尺具有特金反光層的光

學(xué)材料，接近為全平面結(jié)構(gòu)。因此抗污染

能力強。

相位光柵

采用特殊制造工藝的三維結(jié)構(gòu)光柵，

具有特定光學(xué)特性。這種結(jié)構(gòu)的光柵寬度

只有幾微米至四分之一微米。

SUPRADUR

SUPRADUR工藝的光柵的光學(xué)特性類

似于三維結(jié)構(gòu)的相位光柵，但它具有平面

結(jié)構(gòu)，因此具有強的抗污染能力。

OPTODUR

OPTODUR光刻工藝的光柵具有

反光率。它由光學(xué)三維結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其平面

結(jié)構(gòu)類似SUPRADUR光柵。

MAGNODUR微米級磁膜構(gòu)成的精細磁柵。

帶內(nèi)置軸承的HEIDENHAIN海德漢旋轉(zhuǎn)編碼器