三合一超快SEM解決方案

Femto SEM A三合一超快掃描電鏡解決方案采用飛秒級(jí)激光激發(fā)陰極電子束，同時(shí)在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，該脈沖發(fā)生器可通過(guò)皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時(shí)對(duì)正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒(méi)有），通過(guò)同頻異步雙激發(fā)可實(shí)現(xiàn)飛秒級(jí)時(shí)間分辨率（光激發(fā)），并保持 SEM 的原始固有空間分辨率（電激發(fā)）。再融合飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超快表征。

特點(diǎn)：

• 飛秒級(jí)激光激發(fā)陰極電子束

• 皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束

• 同頻異步雙激發(fā)

• 飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)

規(guī)格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：200kHz~25MHz（光激發(fā)），15MHz~3GHz（電激發(fā)）

• 電子脈沖長(zhǎng)度：300fs（光激發(fā)），100ps~period-100ps（電激發(fā)）

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發(fā)下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。