Holmarc 的旋涂機(jī)（型號(hào)：HO-TH-05）是一種專(zhuān)用的臺(tái)式系統(tǒng)，用于在研究實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小型基底進(jìn)行旋涂，旋涂過(guò)程參數(shù)控制良好。高速和持續(xù)時(shí)間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或薄度。旋涂頭執(zhí)行器采用精密的直流伺服電機(jī)，維護(hù)量少，速度和加速度控制精確。由無(wú)油真空泵驅(qū)動(dòng)的真空吸盤(pán)將基底固定在旋轉(zhuǎn)頭上。

該設(shè)備的用戶友好型前面板配有鍵盤(pán)和液晶顯示屏，可對(duì)旋轉(zhuǎn)過(guò)程進(jìn)行編程。旋轉(zhuǎn)持續(xù)時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、加速度等參數(shù)均可通過(guò)前面板進(jìn)行編程。由于程序存儲(chǔ)器是非易失性的，因此在斷電的情況下記錄的參數(shù)也不會(huì)丟失。該機(jī)型配備了 9 個(gè)可編輯的預(yù)設(shè)程序存儲(chǔ)器，每個(gè)程序有 9 個(gè)步驟。

功能

卡盤(pán)直徑：14 毫米、22 毫米、36 毫米（O 形圈外徑）

工作腔上的透明安全蓋

非易失性程序存儲(chǔ)器

用戶友好型設(shè)計(jì)

背板電源開(kāi)關(guān)

用于惰性氣體吹掃的入口和出口，6 毫米管道

                                                                                                       規(guī)格

用戶界面：24 x 4 行字母數(shù)字 LCD 和 16 按鈕鍵盤(pán)

    執(zhí)行器：無(wú)刷直流伺服電機(jī)

    程序存儲(chǔ)器：9 個(gè)程序，每個(gè)程序有 9 個(gè)步驟

    速度曲線：速度、持續(xù)時(shí)間和加速度

    旋轉(zhuǎn)速度：60 - 9999 RPM

    速度分辨率：1 RPM

    速度精度：+/- 1

    加速/減速：10 - 2000 rpm/s（可通過(guò)輸入加速度間接設(shè)置斜坡和停留時(shí)間）

    持續(xù)時(shí)間：每步 1 - 99 秒/分/小時(shí)

    樣品卡盤(pán)：3 個(gè)（25 毫米、32 毫米和 45 毫米）

    最大樣品直徑：100 毫米

    最小樣品直徑：13 毫米

    樣品碗材料：聚丙烯

    碗尺寸：8 英寸

    帶樣品分配口的透明蓋

    排水軟管

    安全聯(lián)鎖裝置，防止碗打開(kāi)時(shí)旋轉(zhuǎn)

    樣品架 ：    帶硅橡膠 O 型環(huán)的 PTFE 盤(pán)

    樣品安裝：真空固定

    真空連接器：8 毫米直徑卡入式軟管連接器

    N2 吹掃接頭

    真空泵開(kāi)/關(guān)和釋放開(kāi)關(guān)

    尺寸（毫米） ：    400（長(zhǎng)）x 275（寬）x 350（高）

    交流電輸入：230 伏

    最大功耗：260 瓦（帶真空泵）

應(yīng)用范圍

    旋涂技術(shù)在有機(jī)電子、納米技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域無(wú)處不在。

    旋轉(zhuǎn)涂層廣泛應(yīng)用于使用溶膠-凝膠前驅(qū)體在玻璃或單晶基底上微細(xì)制造功能氧化物層，可用于制造納米級(jí)厚度的均勻薄膜。在光刻技術(shù)中，它被廣泛用于沉積厚度約為 1 微米的光刻膠層。

可選配件

數(shù)字移液器，用于向基底分配液體

支架用于固定手動(dòng)移液器

真空適配器，用于固定直徑從 30 毫米到 100 毫米不等的培養(yǎng)皿

機(jī)械夾或鎖，用于在不抽真空的情況下固定樣品

旋轉(zhuǎn)鍍膜是在平面基底上沉積均勻薄膜的技術(shù)之一。它廣泛應(yīng)用于各種行業(yè)和技術(shù)領(lǐng)域。旋涂技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于能夠快速、輕松地生產(chǎn)出厚度從幾納米到幾微米不等的非常均勻的薄膜。

在這項(xiàng)技術(shù)中，在低速旋轉(zhuǎn)或不旋轉(zhuǎn)的基底中心涂上少量涂層材料。然后基底高速旋轉(zhuǎn)，通過(guò)離心力使涂層材料擴(kuò)散。在流體從基底邊緣脫落的同時(shí)繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，直到達(dá)到所需的涂膜厚度。涂抹的溶劑通常具有揮發(fā)性，會(huì)同時(shí)蒸發(fā)。因此，旋轉(zhuǎn)的角速度越高，薄膜就越薄。薄膜的厚度還取決于溶液和溶劑的粘度和濃度。