開放式諧振器

新型Fabry-Perot開放式諧振器（FPOR）是具有高斯鏡、用于自動(dòng)寬帶和20-50 GHz（或20-110 GHz）頻率范圍內(nèi)低損耗電介質(zhì)平板樣品電磁特性的準(zhǔn)室溫諧振測(cè)量系統(tǒng)。FPOR系統(tǒng)配備有軟件，該軟件控制測(cè)量過程并從測(cè)量的頻率和Q因子中提取被測(cè)材料的復(fù)介電常數(shù)。

整個(gè)測(cè)量裝置由一臺(tái)安裝有軟件的計(jì)算機(jī)組成，并連接到FPOR和測(cè)量設(shè)備（VNA或微波頻率計(jì)Q-Meter）。FPOR以每1.5 GHz間隔的連續(xù)TEM0,0,q高斯奇數(shù)模式工作。

開放式諧振器由于在控制軟件中運(yùn)用了復(fù)雜的自適應(yīng)算法，其于在測(cè)量過程中對(duì)模式進(jìn)行準(zhǔn)而可靠的跟蹤，因此總測(cè)量時(shí)間通常不超過10分鐘。

類型參數(shù):

測(cè)量精度（厚度h）

Δε/ε=±0.5% （ε=1…15）
Δtanδ/tanδ=±2%   (tanδ ≤ 2%)

工作頻率

20-110 GHz（如需50 GHz以上需要擴(kuò)頻器）。

FPOR以每1.5 GHz間隔的連續(xù)TEM_0,0,q高斯奇數(shù)模式工作。

工作溫度范圍

室溫

測(cè)量方法

整個(gè)測(cè)量是自動(dòng)化的，并通過安裝在計(jì)算機(jī)上的軟件進(jìn)行控制。首先，測(cè)量空諧振器的TEM_0,0,q奇模的諧振頻率和Q因子。然后將樣品插入支架，并自適應(yīng)地尋找所有感興趣的模式，并測(cè)量變化的諧振頻率和Q因子，以便將結(jié)果與通過的FPOR電磁模型計(jì)算得到的查找表進(jìn)行比較來提取介電常數(shù)和損耗角正切值 。

樣品尺寸

樣品厚度應(yīng)在50μm-3mm的范圍內(nèi)，而直徑應(yīng)超過75 mm。