產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
產(chǎn)品分類品牌分類
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AAA+級(jí)雙光太陽光模擬器 AAA太陽光模擬器 150W 太陽光模擬器 聚光太陽光模擬器 太陽能電池IV性能測試儀 太陽能電池組件測試儀 太陽能電池測試 多通道太陽能電池穩(wěn)定性測試 OLED模擬軟件 太陽能電池穩(wěn)定性測試 太陽能電池載流子測試 光纖太陽光模擬器 光譜響應(yīng)/量子效率量測儀 全光譜太陽光模擬器 太陽能電池量子效率測試系統(tǒng) AAA級(jí)太陽光模擬器 雙燈太陽光模擬器 穩(wěn)態(tài)太陽光模擬器 瞬態(tài)光電流/光電壓測試系統(tǒng) 太陽能電池載流子測試設(shè)備 載流子擴(kuò)散長度測試系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
詳細(xì)說明:
桌面型原子層沉積系統(tǒng)由哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計(jì),基于多年納米薄膜制備的經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)科研工作者切實(shí)研究需要的了解,推出了此桌面型原子層沉積系統(tǒng)。
主要特點(diǎn):
1.腔室專為R&D設(shè)計(jì)和優(yōu)化,樣品尺寸達(dá)直徑4’’,可升級(jí)至6'';
2.反應(yīng)腔溫度可控范圍:RT-350℃;
3.前驅(qū)體源溫度可控范圍:RT-150℃;
4.腔室處理壓力可控范圍:0.1-1.5 torr;
5.源擴(kuò)展多達(dá)5個(gè);
6.快速循環(huán)處理功能;
7.氣路優(yōu)化設(shè)計(jì)、腔體小型化設(shè)計(jì);
8.一分鐘多達(dá)6-10;
9.成熟的薄膜Recipes內(nèi)置程序;
10.觸屏PLC控制;
11.可配套手套箱使用;
12.可配備臭氧發(fā)生器;
13.可定制樣品夾具;
14.相比于市場上同類產(chǎn)品體積相對(duì)偏小,可以放置在凈化間;
15.可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體劑量的控制。
可處理材料: