產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
---|
產(chǎn)品分類品牌分類
-
AAA+級(jí)雙光太陽(yáng)光模擬器 AAA太陽(yáng)光模擬器 150W 太陽(yáng)光模擬器 聚光太陽(yáng)光模擬器 太陽(yáng)能電池IV性能測(cè)試儀 太陽(yáng)能電池組件測(cè)試儀 太陽(yáng)能電池測(cè)試 多通道太陽(yáng)能電池穩(wěn)定性測(cè)試 OLED模擬軟件 太陽(yáng)能電池穩(wěn)定性測(cè)試 太陽(yáng)能電池載流子測(cè)試 光纖太陽(yáng)光模擬器 光譜響應(yīng)/量子效率量測(cè)儀 全光譜太陽(yáng)光模擬器 太陽(yáng)能電池量子效率測(cè)試系統(tǒng) AAA級(jí)太陽(yáng)光模擬器 雙燈太陽(yáng)光模擬器 穩(wěn)態(tài)太陽(yáng)光模擬器 瞬態(tài)光電流/光電壓測(cè)試系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池載流子測(cè)試設(shè)備 載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
薄膜生長(zhǎng)速率測(cè)試儀,采用無(wú)損的激光技術(shù)實(shí)時(shí)原位檢測(cè)薄膜沉積速率、薄膜厚度以及光學(xué)常量(n&k),可廣泛的應(yīng)用于金屬有機(jī)化學(xué)氣象沉積MOCVD、分子束外延MBE、濺射系統(tǒng)Sputtering和蒸發(fā)系統(tǒng)等薄膜沉積過(guò)程的實(shí)時(shí)原位監(jiān)控。
薄膜生長(zhǎng)速率測(cè)試儀
主要特點(diǎn):
*實(shí)時(shí)薄膜沉積速率、薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)(n&k)分析,同時(shí)標(biāo)準(zhǔn)偏差統(tǒng)計(jì)分析;
*自動(dòng)程序化校準(zhǔn);
*實(shí)時(shí)反饋系統(tǒng);
*程序控制,可實(shí)時(shí)多層薄膜沉積監(jiān)控和控制;
*多Wafer監(jiān)控功能;
*Wafer基底旋轉(zhuǎn)監(jiān)控和控制功能;
*所有參量原位實(shí)時(shí)檢測(cè);
*操作裝配簡(jiǎn)單便捷;