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行業(yè)產(chǎn)品
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1200°C三溫區(qū)三通道混氣C
雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)、循環(huán)手套
小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)
雙通道ALD管式爐系統(tǒng)
坩堝(樣品臺)可移動型1200°
帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
三溫區(qū)1500°C PECVD
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