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Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。
大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經校準的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內進行補償。基于 ASIC 的補償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。
這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。
Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應用要求。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結合使得這些產品極其堅固耐用。它們的設計與制造符合 ISO 9001 標準。
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