上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司
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當(dāng)前位置：上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司>>檢測(cè)儀器>>其他檢測(cè)儀器>> RD8655掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)

掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)RD8655

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2024-09-03 16:19:12瀏覽次數(shù)：660次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合
掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測(cè)量和控制。掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測(cè)量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測(cè)量和控制。掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測(cè)量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)主要技術(shù)參數(shù)

1.  體積小、精度高、采樣速度快；

2. 溫度準(zhǔn)確度高達(dá)1mK；

3. 采用無線通訊方式，響應(yīng)時(shí)間短。

掩膜無線測(cè)溫系統(tǒng)

溫度范圍

0℃ ~ 30℃

溫度準(zhǔn)確度

1mK（3σ）

重復(fù)測(cè)量準(zhǔn)確度

＜2mK（3σ）

傳感器響應(yīng)時(shí)間

≤1s

采集頻率

max.4Hz

連續(xù)工作時(shí)間

≥100min

傳感器數(shù)量

14

通訊方式

Wifi

保修期

1年




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