基于青島芯笙微納電子科技有限公司MFC-T系列高精度質量流量控制器，客戶實現(xiàn)了混合氣的氣體配氣，包括基于瞬時流量的單種氣體的準確流量控制、基于累積流量的多種氣體混合的濃度監(jiān)測與控制。在配氣過程中，氣體質量流量越小，MFC靈敏度越高。通過操作上位機，既可以對每臺MFC設備發(fā)送指令，又可以通過累積流量對混合氣氣體濃度進監(jiān)測，高效快捷。在此氣體配氣儀上使用的質量流量控制器，具有精度高（±1%F.S.）、響應速度快（≤1s）、分辨率高（0.01mL/min）、受溫度壓力影響小等特點。

圖1：基于質量流量控制器的氣體配氣儀原理

圖2：氣體配氣儀MFC裝配圖

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   青島芯笙MFC-T系列質量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品，該產品配備有進口電磁比例閥、316L 不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面，帶有工業(yè)級液觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA 和 1-5V 模擬信號，以及 RS485 等數(shù)字通信方式。 此系列產品的量程從20SCCM到10SLM內可選，典型精度為±1.0%F.S.。