目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>ZYGO光學(xué)輪廓儀>> ZeGage Pro了解ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀
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更新時(shí)間：2025-10-23 15:10:48瀏覽次數(shù)：63評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光學(xué)輪廓儀，主要用于對(duì)表面形貌進(jìn)行非接觸式的測量和分析。它基于相干掃描干涉技術(shù)，能夠提供表面的三維形貌數(shù)據(jù)。這款儀器適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境，為研發(fā)和質(zhì)量控制提供了一種表面測量的方式。
在產(chǎn)品設(shè)計(jì)上，ZeGage Pro采用了一體化的結(jié)構(gòu)，將光學(xué)系統(tǒng)、電子控制系統(tǒng)和內(nèi)置計(jì)算機(jī)集成在一個(gè)緊湊的機(jī)身內(nèi)。這種設(shè)計(jì)減少了外部環(huán)境振動(dòng)和氣流對(duì)測量結(jié)果的干擾，同時(shí)使得儀器便于移動(dòng)和安裝。儀器的外殼主要采用金屬材料，保證了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)固性，內(nèi)部光學(xué)元件則安裝在經(jīng)過設(shè)計(jì)的隔振平臺(tái)上，以維持光學(xué)路徑的穩(wěn)定性。
ZeGage Pro的用途廣泛，可用于測量各種材料和表面的粗糙度、臺(tái)階高度、形狀輪廓、體積等參數(shù)。它適用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)、精密制造等多個(gè)領(lǐng)域。例如，在光學(xué)元件生產(chǎn)中，可用于檢測透鏡的表面質(zhì)量；在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于測量晶圓的翹曲度和薄膜厚度。
儀器的操作通過隨機(jī)附帶的MetroPro軟件完成。該軟件提供了從儀器控制、數(shù)據(jù)采集到結(jié)果分析的全套功能。用戶可以通過軟件選擇測量模式、設(shè)置掃描參數(shù)、實(shí)時(shí)預(yù)覽樣品，并對(duì)采集到的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行多種分析，生成符合國際標(biāo)準(zhǔn)的測量報(bào)告。
參數(shù)表示例：
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 型號(hào) | ZeGage Pro (根據(jù)配置有多種型號(hào)) |
| 測量技術(shù) | 相干掃描干涉術(shù) |
| 垂直測量范圍 | 可達(dá)數(shù)毫米（取決于物鏡） |
| 垂直分辨率 | 可達(dá)亞納米級(jí) |
| 視野 | 取決于物鏡倍數(shù)（如0.5x至50x） |
| 平臺(tái)尺寸 | 提供多種規(guī)格的樣品臺(tái)選項(xiàng) |
| 數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng) |
| 軟件 | MetroPro |
使用ZeGage Pro時(shí)，需要將儀器放置在穩(wěn)固的工作臺(tái)上，并連接電源和網(wǎng)絡(luò)。開機(jī)后，通過計(jì)算機(jī)上的軟件進(jìn)行操作。放置樣品時(shí)，需確保樣品表面清潔，并平穩(wěn)放置在樣品臺(tái)上。根據(jù)樣品的反射率和表面特性，在軟件中選擇合適的測量模式和參數(shù)，即可開始自動(dòng)測量。測量完成后，數(shù)據(jù)會(huì)自動(dòng)傳輸至軟件進(jìn)行分析。
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