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目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>ZYGO光學(xué)輪廓儀>> ZYGO Nexview NX2ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索

ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 ZYGO/翟科
  • 型號(hào) ZYGO Nexview NX2
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-10-31 13:59:52瀏覽次數(shù):21評(píng)價(jià)

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ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域,薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜,若表面存在微米級(jí)顆?;蚺_(tái)階起伏,可能導(dǎo)致器件失效或光學(xué)性能衰減。某專注光學(xué)薄膜研發(fā)的科技公司,曾因膜層表面檢測(cè)難題困擾多年,直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀,才真正實(shí)現(xiàn)了從“經(jīng)驗(yàn)判斷"到“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)"的跨越。

ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索

在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域,薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜,若表面存在微米級(jí)顆?;蚺_(tái)階起伏,可能導(dǎo)致器件失效或光學(xué)性能衰減。某專注光學(xué)薄膜研發(fā)的科技公司,曾因膜層表面檢測(cè)難題困擾多年,直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀,才真正實(shí)現(xiàn)了從“經(jīng)驗(yàn)判斷"到“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)"的跨越。
該公司主打研發(fā)用于AR眼鏡的增透膜,膜層厚度僅120nm,卻需保證表面顆粒度≤50nm、全局平整度偏差<1nm。過(guò)去,團(tuán)隊(duì)依賴原子力顯微鏡(AFM)檢測(cè),但AFM掃描范圍僅10μm×10μm,如同“用顯微鏡看地圖",只能捕捉局部細(xì)節(jié),無(wú)法判斷整層膜面的均勻性。更頭疼的是,批量生產(chǎn)時(shí),若按AFM抽樣比例(每爐抽檢5個(gè)點(diǎn)),常因漏檢導(dǎo)致整批膜層返工?!坝写慰蛻舴答伳痈街Σ?,我們拆解后發(fā)現(xiàn)是局部顆粒堆積引發(fā)應(yīng)力集中,但當(dāng)時(shí)根本查不出問(wèn)題根源。"研發(fā)主管王工回憶道。
接觸NX2后,團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了“宏觀+微觀"的全景檢測(cè)。設(shè)備配置的白光干涉模塊,可掃描50mm×50mm的大視場(chǎng)區(qū)域,同時(shí)保持0.1nm的縱向分辨率——相當(dāng)于在一張A4紙上,不僅能看清整幅畫的輪廓,連每根線條的粗細(xì)變化都能分辨。檢測(cè)時(shí),軟件生成的彩色三維形貌圖讓團(tuán)隊(duì)震驚:原本以為均勻的膜層,竟在邊緣區(qū)域存在密集的“小山包"(顆粒堆積),最高凸起達(dá)80nm?!耙郧癆FM只測(cè)中心,我們誤以為膜面沒(méi)問(wèn)題,現(xiàn)在才知道邊緣工藝參數(shù)需要調(diào)整。"王工說(shuō)。
更關(guān)鍵的是,NX2的批量分析功能讓工藝優(yōu)化有了明確方向。團(tuán)隊(duì)將膜層制備的12道工序與NX2檢測(cè)數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián),發(fā)現(xiàn)顆粒堆積集中在“磁控濺射"環(huán)節(jié)——靶材濺射角度偏移導(dǎo)致部分粒子未均勻沉積。通過(guò)調(diào)整靶材位置并優(yōu)化濺射功率,第二次檢測(cè)時(shí),膜層邊緣的凸起高度降至20nm以下,全局平整度達(dá)標(biāo)率從65%提升至92%。
目前,該公司的薄膜研發(fā)周期已從3個(gè)月縮短至1個(gè)半月。王工坦言:“NX2不僅是檢測(cè)工具,更是研發(fā)的眼睛。以前我們像在黑箱里試錯(cuò),現(xiàn)在每一步調(diào)整都能看到明確的形貌反饋,研發(fā)效率至少翻了一番。"對(duì)于薄膜這種“納米級(jí)精度+宏觀一致性"的材料,NX2的“跨尺度檢測(cè)"能力,正成為連接微觀機(jī)理與宏觀性能的核心橋梁。


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