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目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>ZYGO光學(xué)輪廓儀>> ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 ZYGO/翟科
  • 型號(hào) ZeGage Pro
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-10-23 19:28:53瀏覽次數(shù):61評(píng)價(jià)

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用
光學(xué)透鏡(如相機(jī)鏡頭、顯微鏡物鏡)的表面粗糙度、曲率半徑直接影響成像質(zhì)量,需測(cè)量表面 Ra 值(≤0.01μm)、曲率半徑(差≤0.1%),確保無(wú)劃痕、凹陷等缺陷

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用

一、光學(xué)透鏡表面形貌測(cè)量
(一)應(yīng)用場(chǎng)景與核心需求
光學(xué)透鏡(如相機(jī)鏡頭、顯微鏡物鏡)的表面粗糙度、曲率半徑直接影響成像質(zhì)量,需測(cè)量表面 Ra 值(≤0.01μm)、曲率半徑(差≤0.1%),確保無(wú)劃痕、凹陷等缺陷。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:根據(jù)透鏡尺寸選物鏡,小口徑透鏡(直徑≤5mm)用 20X 物鏡(水平分辨率 0.8μm),大口徑透鏡(直徑>5mm)用 10X 物鏡(覆蓋更大范圍);

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 1-5mm×1-5mm(匹配透鏡測(cè)量區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2(捕捉微觀粗糙度),開(kāi)啟 “偏振光" 功能(減少透明透鏡反光干擾);

  1. 測(cè)量流程:用專(zhuān)用夾具固定透鏡(避免按壓變形),自動(dòng)對(duì)焦后掃描(約 25 秒 / 次),軟件生成 3D 表面形貌圖。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 軟件計(jì)算 Ra 值,若超 0.01μm,反饋至透鏡拋光工藝(調(diào)整拋光輪轉(zhuǎn)速、磨料粒度);

  1. 選擇 “曲率分析" 模塊,自動(dòng)擬合透鏡曲面,輸出曲率半徑數(shù)據(jù)(如 R=20.05mm),與設(shè)計(jì)值(20mm)對(duì)比,偏差超 0.1% 需重新加工。

二、光學(xué)薄膜厚度測(cè)量
(一)應(yīng)用場(chǎng)景與核心需求
光學(xué)薄膜(如增透膜、濾光膜,厚度 50-500nm)的厚度均勻性影響光學(xué)性能,需測(cè)量薄膜厚度及局部偏差(≤5nm),避免厚度不均導(dǎo)致透光率波動(dòng)。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:選用 50X 物鏡(垂直分辨率 0.05nm,精準(zhǔn)捕捉薄膜層間信號(hào)),搭配白光干涉模塊;

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 0.2mm×0.2mm(薄膜局部區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1200 點(diǎn) /mm2,開(kāi)啟 “薄膜分析" 專(zhuān)用算法;

  1. 測(cè)量流程:將薄膜樣品(如玻璃基底鍍膜)放在樣品臺(tái),掃描后軟件自動(dòng)識(shí)別薄膜上下表面(基于折射率差異),計(jì)算厚度值。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 軟件生成厚度分布熱力圖,標(biāo)注厚度偏差超 5nm 的區(qū)域(如邊緣區(qū)域厚度 480nm,中心 495nm),指導(dǎo)鍍膜工藝調(diào)整(如優(yōu)化鍍膜機(jī)靶材位置);

  1. 統(tǒng)計(jì)整片薄膜的厚度均勻性(如平均厚度 490nm,偏差 ±3nm),作為薄膜合格判定依據(jù)。

三、棱鏡角度與表面缺陷檢測(cè)
(一)應(yīng)用場(chǎng)景與核心需求
光學(xué)棱鏡(如直角棱鏡、等邊棱鏡)的棱角角度精度(差≤0.1°)、表面缺陷(劃痕寬度≤1μm)影響光路偏轉(zhuǎn)精度,需精準(zhǔn)測(cè)量與識(shí)別。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:選用 10X 物鏡(覆蓋棱鏡表面與棱角區(qū)域),搭配自動(dòng)樣品臺(tái)(便于多角度測(cè)量);

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 3mm×3mm(含棱鏡棱角與表面),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 800 點(diǎn) /mm2,開(kāi)啟 “缺陷識(shí)別" 功能(閾值設(shè)為劃痕寬度≥1μm);

  1. 測(cè)量流程:自動(dòng)樣品臺(tái)移動(dòng)至棱鏡不同區(qū)域(表面、棱角),分次掃描(約 30 秒 / 區(qū)域),軟件整合多區(qū)域數(shù)據(jù)。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 軟件測(cè)量棱鏡棱角角度(如直角棱鏡 90.05°),偏差超 0.1° 需重新研磨棱角;

  1. 自動(dòng)標(biāo)紅劃痕缺陷(如寬度 1.2μm 的劃痕),統(tǒng)計(jì)缺陷數(shù)量,超 3 處 / 片需返修。

四、應(yīng)用注意事項(xiàng)
  1. 光學(xué)元件表面禁觸碰,需戴無(wú)塵手套操作,避免指紋、灰塵污染測(cè)量區(qū)域;

  1. 測(cè)量透明元件時(shí),確保樣品臺(tái)水平(用水平儀校準(zhǔn)),防止樣品傾斜導(dǎo)致測(cè)量偏差;

  1. 不同材質(zhì)元件(如玻璃、塑料基底)需調(diào)整 “折射率參數(shù)"(軟件內(nèi)置常見(jiàn)材質(zhì)折射率數(shù)據(jù)庫(kù)),確保厚度、曲率計(jì)算準(zhǔn)確。

通過(guò)在光學(xué)元件檢測(cè)中的應(yīng)用,ZeGage Pro 以非接觸、高精度優(yōu)勢(shì),滿(mǎn)足透鏡、薄膜、棱鏡的核心測(cè)量需求,為光學(xué)制造提供可靠數(shù)據(jù)支撐。



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