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更新時(shí)間:2025-10-23 19:28:53瀏覽次數(shù):61評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車(chē)及零部件,綜合 |
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用
硬件選擇:根據(jù)透鏡尺寸選物鏡,小口徑透鏡(直徑≤5mm)用 20X 物鏡(水平分辨率 0.8μm),大口徑透鏡(直徑>5mm)用 10X 物鏡(覆蓋更大范圍);
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 1-5mm×1-5mm(匹配透鏡測(cè)量區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2(捕捉微觀粗糙度),開(kāi)啟 “偏振光" 功能(減少透明透鏡反光干擾);
測(cè)量流程:用專(zhuān)用夾具固定透鏡(避免按壓變形),自動(dòng)對(duì)焦后掃描(約 25 秒 / 次),軟件生成 3D 表面形貌圖。
軟件計(jì)算 Ra 值,若超 0.01μm,反饋至透鏡拋光工藝(調(diào)整拋光輪轉(zhuǎn)速、磨料粒度);
選擇 “曲率分析" 模塊,自動(dòng)擬合透鏡曲面,輸出曲率半徑數(shù)據(jù)(如 R=20.05mm),與設(shè)計(jì)值(20mm)對(duì)比,偏差超 0.1% 需重新加工。
硬件選擇:選用 50X 物鏡(垂直分辨率 0.05nm,精準(zhǔn)捕捉薄膜層間信號(hào)),搭配白光干涉模塊;
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 0.2mm×0.2mm(薄膜局部區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1200 點(diǎn) /mm2,開(kāi)啟 “薄膜分析" 專(zhuān)用算法;
測(cè)量流程:將薄膜樣品(如玻璃基底鍍膜)放在樣品臺(tái),掃描后軟件自動(dòng)識(shí)別薄膜上下表面(基于折射率差異),計(jì)算厚度值。
軟件生成厚度分布熱力圖,標(biāo)注厚度偏差超 5nm 的區(qū)域(如邊緣區(qū)域厚度 480nm,中心 495nm),指導(dǎo)鍍膜工藝調(diào)整(如優(yōu)化鍍膜機(jī)靶材位置);
統(tǒng)計(jì)整片薄膜的厚度均勻性(如平均厚度 490nm,偏差 ±3nm),作為薄膜合格判定依據(jù)。
硬件選擇:選用 10X 物鏡(覆蓋棱鏡表面與棱角區(qū)域),搭配自動(dòng)樣品臺(tái)(便于多角度測(cè)量);
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 3mm×3mm(含棱鏡棱角與表面),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 800 點(diǎn) /mm2,開(kāi)啟 “缺陷識(shí)別" 功能(閾值設(shè)為劃痕寬度≥1μm);
測(cè)量流程:自動(dòng)樣品臺(tái)移動(dòng)至棱鏡不同區(qū)域(表面、棱角),分次掃描(約 30 秒 / 區(qū)域),軟件整合多區(qū)域數(shù)據(jù)。
軟件測(cè)量棱鏡棱角角度(如直角棱鏡 90.05°),偏差超 0.1° 需重新研磨棱角;
自動(dòng)標(biāo)紅劃痕缺陷(如寬度 1.2μm 的劃痕),統(tǒng)計(jì)缺陷數(shù)量,超 3 處 / 片需返修。
光學(xué)元件表面禁觸碰,需戴無(wú)塵手套操作,避免指紋、灰塵污染測(cè)量區(qū)域;
測(cè)量透明元件時(shí),確保樣品臺(tái)水平(用水平儀校準(zhǔn)),防止樣品傾斜導(dǎo)致測(cè)量偏差;
不同材質(zhì)元件(如玻璃、塑料基底)需調(diào)整 “折射率參數(shù)"(軟件內(nèi)置常見(jiàn)材質(zhì)折射率數(shù)據(jù)庫(kù)),確保厚度、曲率計(jì)算準(zhǔn)確。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件檢測(cè)應(yīng)用
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