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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用
硬件選擇:根據(jù)零件尺寸選物鏡,小尺寸零件(如微型齒輪)用 20X 物鏡(水平分辨率 0.8μm),大尺寸零件(如軸承外圈)用 5X 物鏡(覆蓋更大測量區(qū)域);
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 2-10mm×2-10mm(匹配零件待測區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 500-800 點(diǎn) /mm2(平衡測量精度與速度),無需開啟特殊功能(金屬零件反光較弱,常規(guī)成像即可);
測量流程:將零件固定在樣品臺(用磁性夾具固定金屬零件,避免移位),手動移動樣品臺使待測區(qū)域?qū)?zhǔn)物鏡,自動對焦后啟動掃描(約 20-40 秒 / 次),軟件生成 3D 表面形貌圖。
軟件自動計(jì)算 Ra、Rz 值,若 Ra=1.0μm 超標(biāo)準(zhǔn)(≤0.8μm),反饋至零件加工工藝(如調(diào)整銑削轉(zhuǎn)速、更換砂輪粒度);
生成粗糙度分布曲線,直觀顯示零件表面高低起伏狀態(tài),判斷是否存在局部粗糙度過高區(qū)域(如齒輪齒根位置),指導(dǎo)工藝優(yōu)化。
硬件選擇:選用 10X 物鏡(水平分辨率 1.6μm,垂直分辨率 0.1nm,兼顧范圍與精度),若批量檢測可選自動樣品臺(預(yù)設(shè)多個(gè)臺階測量點(diǎn)位);
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 1-3mm×1-3mm(覆蓋臺階及兩側(cè)區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2(精準(zhǔn)捕捉臺階邊緣),開啟 “臺階分析" 專用功能;
測量流程:掃描完成后,在軟件中用鼠標(biāo)框選臺階兩側(cè)平面區(qū)域,軟件自動識別臺階邊緣,計(jì)算高度值(如臺階設(shè)計(jì)高度 0.5mm,實(shí)測 0.503mm)。
對比實(shí)測值與設(shè)計(jì)值,偏差超 0.005mm 時(shí)(如 0.506mm),調(diào)整加工設(shè)備(如銑床進(jìn)給量);
統(tǒng)計(jì)同一零件不同位置臺階高度的一致性(如模具四周臺階高度偏差≤0.003mm),確保零件整體裝配精度。
硬件選擇:選用 50X 物鏡(水平分辨率 0.64μm,可識別 0.1μm 以上缺陷),搭配高亮度 LED 光源(增強(qiáng)缺陷與零件表面的對比度);
參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 0.5-1mm×0.5-1mm(聚焦疑似缺陷區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1200 點(diǎn) /mm2(清晰呈現(xiàn)缺陷細(xì)節(jié)),開啟 “缺陷識別" 功能(設(shè)置缺陷閾值:劃痕寬度≥0.1μm、深度≥0.05μm);
測量流程:人工觀察零件表面,標(biāo)記疑似缺陷位置,移動樣品臺至對應(yīng)區(qū)域掃描,軟件自動標(biāo)紅符合閾值的缺陷,統(tǒng)計(jì)數(shù)量與尺寸(如劃痕長度 0.8μm、寬度 0.12μm)。
若缺陷數(shù)量超 3 處 / 零件或單個(gè)缺陷尺寸超 1μm,判定零件不合格,需返修(如拋光去除劃痕);
分析缺陷產(chǎn)生原因(如加工過程中刀具磨損導(dǎo)致劃痕),及時(shí)更換加工工具,減少不合格品率。
金屬零件測量前需清潔表面油污、鐵屑(用無水乙醇擦拭,晾干后測量),避免雜質(zhì)干擾數(shù)據(jù);
易變形零件(如薄型金屬片)需用柔性夾具固定,避免夾持力過大導(dǎo)致零件變形;
測量大重量零件(≤5kg)時(shí),緩慢放置在樣品臺中心,避免壓損樣品臺導(dǎo)軌。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用
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