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目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>ZYGO光學(xué)輪廓儀>> ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 ZYGO/翟科
  • 型號 ZeGage Pro
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-10-23 19:30:31瀏覽次數(shù):69評價(jià)

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用
通過在精密機(jī)械領(lǐng)域的應(yīng)用,ZeGage Pro 以非接觸測量優(yōu)勢,精準(zhǔn)把控零件表面質(zhì)量、尺寸精度與缺陷狀態(tài),為機(jī)械制造的精度提升提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用

一、機(jī)械零件表面粗糙度測量
(一)應(yīng)用場景與核心需求
精密機(jī)械零件(如軸承內(nèi)外圈、齒輪齒面)的表面粗糙度直接影響摩擦系數(shù)與使用壽命,需測量 Ra(算術(shù)平均粗糙度)、Rz(十點(diǎn)平均粗糙度),常見要求 Ra≤0.8μm、Rz≤5μm,避免粗糙度過高導(dǎo)致零件磨損加快。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:根據(jù)零件尺寸選物鏡,小尺寸零件(如微型齒輪)用 20X 物鏡(水平分辨率 0.8μm),大尺寸零件(如軸承外圈)用 5X 物鏡(覆蓋更大測量區(qū)域);

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 2-10mm×2-10mm(匹配零件待測區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 500-800 點(diǎn) /mm2(平衡測量精度與速度),無需開啟特殊功能(金屬零件反光較弱,常規(guī)成像即可);

  1. 測量流程:將零件固定在樣品臺(用磁性夾具固定金屬零件,避免移位),手動移動樣品臺使待測區(qū)域?qū)?zhǔn)物鏡,自動對焦后啟動掃描(約 20-40 秒 / 次),軟件生成 3D 表面形貌圖。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 軟件自動計(jì)算 Ra、Rz 值,若 Ra=1.0μm 超標(biāo)準(zhǔn)(≤0.8μm),反饋至零件加工工藝(如調(diào)整銑削轉(zhuǎn)速、更換砂輪粒度);

  1. 生成粗糙度分布曲線,直觀顯示零件表面高低起伏狀態(tài),判斷是否存在局部粗糙度過高區(qū)域(如齒輪齒根位置),指導(dǎo)工藝優(yōu)化。

二、機(jī)械臺階高度測量
(一)應(yīng)用場景與核心需求
精密模具、芯片散熱片等零件常存在臺階結(jié)構(gòu),臺階高度精度(如 0.1-1mm)影響裝配間隙與功能實(shí)現(xiàn),需測量臺階高度偏差(≤0.005mm),確保裝配后無松動或卡頓。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:選用 10X 物鏡(水平分辨率 1.6μm,垂直分辨率 0.1nm,兼顧范圍與精度),若批量檢測可選自動樣品臺(預(yù)設(shè)多個(gè)臺階測量點(diǎn)位);

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 1-3mm×1-3mm(覆蓋臺階及兩側(cè)區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2(精準(zhǔn)捕捉臺階邊緣),開啟 “臺階分析" 專用功能;

  1. 測量流程:掃描完成后,在軟件中用鼠標(biāo)框選臺階兩側(cè)平面區(qū)域,軟件自動識別臺階邊緣,計(jì)算高度值(如臺階設(shè)計(jì)高度 0.5mm,實(shí)測 0.503mm)。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 對比實(shí)測值與設(shè)計(jì)值,偏差超 0.005mm 時(shí)(如 0.506mm),調(diào)整加工設(shè)備(如銑床進(jìn)給量);

  1. 統(tǒng)計(jì)同一零件不同位置臺階高度的一致性(如模具四周臺階高度偏差≤0.003mm),確保零件整體裝配精度。

三、機(jī)械零件微小缺陷檢測
(一)應(yīng)用場景與核心需求
精密軸類零件、液壓閥芯等易出現(xiàn)微小劃痕、凹坑(尺寸 0.1-1μm),此類缺陷可能導(dǎo)致密封失效或功能故障,需精準(zhǔn)識別并統(tǒng)計(jì)缺陷數(shù)量、尺寸,判斷零件是否合格。
(二)設(shè)備配置與操作
  1. 硬件選擇:選用 50X 物鏡(水平分辨率 0.64μm,可識別 0.1μm 以上缺陷),搭配高亮度 LED 光源(增強(qiáng)缺陷與零件表面的對比度);

  1. 參數(shù)設(shè)置:掃描范圍 0.5-1mm×0.5-1mm(聚焦疑似缺陷區(qū)域),數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1200 點(diǎn) /mm2(清晰呈現(xiàn)缺陷細(xì)節(jié)),開啟 “缺陷識別" 功能(設(shè)置缺陷閾值:劃痕寬度≥0.1μm、深度≥0.05μm);

  1. 測量流程:人工觀察零件表面,標(biāo)記疑似缺陷位置,移動樣品臺至對應(yīng)區(qū)域掃描,軟件自動標(biāo)紅符合閾值的缺陷,統(tǒng)計(jì)數(shù)量與尺寸(如劃痕長度 0.8μm、寬度 0.12μm)。

(三)數(shù)據(jù)應(yīng)用
  1. 若缺陷數(shù)量超 3 處 / 零件或單個(gè)缺陷尺寸超 1μm,判定零件不合格,需返修(如拋光去除劃痕);

  1. 分析缺陷產(chǎn)生原因(如加工過程中刀具磨損導(dǎo)致劃痕),及時(shí)更換加工工具,減少不合格品率。

四、應(yīng)用注意事項(xiàng)
  1. 金屬零件測量前需清潔表面油污、鐵屑(用無水乙醇擦拭,晾干后測量),避免雜質(zhì)干擾數(shù)據(jù);

  1. 易變形零件(如薄型金屬片)需用柔性夾具固定,避免夾持力過大導(dǎo)致零件變形;

  1. 測量大重量零件(≤5kg)時(shí),緩慢放置在樣品臺中心,避免壓損樣品臺導(dǎo)軌。

通過在精密機(jī)械領(lǐng)域的應(yīng)用,ZeGage Pro 以非接觸測量優(yōu)勢,精準(zhǔn)把控零件表面質(zhì)量、尺寸精度與缺陷狀態(tài),為機(jī)械制造的精度提升提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用


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