產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)：

   曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm

   分辨力：2μm；

   照明不均勻性：±2%

   物鏡倍率：2.5倍(縮小)

   光源：350W球形汞燈（曝光譜線(xiàn)： i線(xiàn)）

   基片尺寸：4 英寸

   工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；

   工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm

   調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm

   對(duì)準(zhǔn)精度：±0.5μm

   調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：5mm

   檢焦：CCD檢測(cè)，檢測(cè)精度0.5微米

   轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±4°以上

   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm

TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)主要技術(shù)配置：

（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗);   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái);   光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇

（2）工件臺(tái)系統(tǒng)：X臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國(guó)）   Y臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國(guó)）   轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（3套）、調(diào)平機(jī)構(gòu)   Z臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺(tái)：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件

（4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對(duì)準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口

（6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件：真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵);空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）;管道