山東臺(tái)式電鏡

一、山東臺(tái)式電鏡產(chǎn)品介紹

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ Plus臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡。區(qū)別與傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身，Cube系列占地面積小，便攜性能好，可遵照客戶服務(wù)指南任意移動(dòng)SEM設(shè)備。

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ Plus掃描電鏡能譜一體機(jī)提供5軸共心樣品臺(tái)（電動(dòng)或手動(dòng)）的臺(tái)式SEM。中心傾斜對(duì)于3D重構(gòu)功能至關(guān)重要。

二、山東臺(tái)式電鏡技術(shù)亮點(diǎn)

l高分辨率,與傳統(tǒng)SEM一樣優(yōu)異；

l高空間利用率和便攜性，易于移動(dòng)?？砂惭b在任何地方；

l無(wú)需等待：抽氣90秒/排氣10秒；

l高度可靠的高壓組件；

l無(wú)需對(duì)準(zhǔn)電子槍?zhuān)?/p>

三、臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)技術(shù)指標(biāo)

四、在硅太陽(yáng)能電池觀察中的應(yīng)用

綜述：

太陽(yáng)能電池又稱為“太陽(yáng)能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽(yáng)光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱為太陽(yáng)能光伏。太陽(yáng)能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對(duì)電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進(jìn)行觀測(cè)，從而控制電池質(zhì)量。

試驗(yàn)方法：

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察?？焖儆^察模式，照相時(shí)間 10s

結(jié)論：

EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽(yáng)能電池制造工藝控制檢測(cè)需要。采用CUBE臺(tái)式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無(wú)損檢測(cè)。

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

20000x

50000x

100000x 納米銀粉顆粒