Filgen 紫外臭氧清洗機(jī)

一、Filgen 紫外臭氧清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)

●適用于各種基材的無(wú)損清洗。

●易于去除超聲波清洗無(wú)法清洗干凈的基材表面的有機(jī)污染物。

●能夠去除濕洗過程中殘留的有機(jī)溶劑。

●常壓下工作。無(wú)需真空環(huán)境。

●薄膜涂層基體預(yù)處理的理想解決方案。

二、Filgen 紫外臭氧清洗機(jī)的原理

紫外線臭氧清洗是利用短波長(zhǎng)紫外線的光敏氧化作用。在此過程中，有機(jī)污染物如光刻膠、樹脂、硅油和焊劑通過吸收短波紫外線而分解。當(dāng)氧氣分子和臭氧在波長(zhǎng)分別為184.9nn和253.7nm紫外線照射下同時(shí)產(chǎn)生活性氧(ROS)。波長(zhǎng)253.7nm的紫外線大部分被碳?xì)浠衔锖统粞跷?。污染物與活性氧反應(yīng)，生成易于揮發(fā)的氣體(如二氧化碳、水等)，然后逸出基質(zhì)表面。當(dāng)波長(zhǎng)184 9nm和253.7nm紫外線同時(shí)作用下，氧原子持續(xù)不斷的生成并轉(zhuǎn)化為臭氧，最后臭氧被進(jìn)一步分解。

三、應(yīng)用

薄膜涂層的預(yù)處理

●功能膜的清洗(如ITO膜)

●各種薄膜沉積工藝前的清洗光刻膠去除

●電子、機(jī)械和光學(xué)部件的清潔(如:硅片、透鏡、鏡面、太陽(yáng)能電池板、液晶面板和路板等)

●改善塑料表面涂層的粘接性能。

電子顯微鏡相關(guān)

●去除SEM/TEM樣品表面有機(jī)物污染

●提高金剛石、玻璃刀、支撐膜的潤(rùn)濕性和親水性

其它

●原子力顯微鏡懸臂梁的清洗

●聚二甲基硅氧烷( PDMS)表面改性

●超高真空密封件的清洗

●清除助焊劑

●有機(jī)功能材料的刻蝕

●玻璃脫氣去除晶圓表面切割帶和標(biāo)記墨水

●Ta2O5薄膜退火