全自動(dòng)離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過程中提供了更廣泛的選擇,以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面更加注重人性,簡單智能。
對于SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射,GVC-1000提供了一個(gè)低成本的解決方案,同時(shí)可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銥、銀、銅等),以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。同時(shí)通過智能的人機(jī)界面精確、簡單、方便控制儀器,同時(shí)具有估算鍍層厚度,實(shí)時(shí)顯示真空度,濺射電流。設(shè)定濺射時(shí)間。以及靶材的剩余情況。
GVC-1000全自動(dòng)離子濺射儀特點(diǎn):
1、全自動(dòng)操作,簡單易用,非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等。
(1)濺射電流自動(dòng)調(diào)整——設(shè)定濺射電流后,系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度,從而達(dá)到設(shè)定的濺射電流,調(diào)整時(shí)間<5s,波動(dòng)范圍<±5%;無需按“實(shí)驗(yàn)”鍵調(diào)整濺射電流、無需操作“進(jìn)氣閥”;
(2)濺射時(shí)間自動(dòng)記憶——同類樣品一次設(shè)定即可;
(3)參數(shù)改變自動(dòng)調(diào)整——濺射過程中可以隨時(shí)調(diào)整濺射電流和濺射時(shí)長,系統(tǒng)自動(dòng)計(jì)算疊加,無需終止濺射過程;
(4)工作完成自動(dòng)放氣;
(5)樣品臺高度調(diào)節(jié)1秒完成;
(6)濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀。
2、軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠。
(1)真空度高于100Pa,啟動(dòng)真空保護(hù),無法濺射;
(2)濺射電流高于50mA,停止濺射過程;
(3)真空泵工作時(shí),系統(tǒng)無法進(jìn)行放氣操作。
3、鍍層均勻,導(dǎo)電性良好。
GVC-1000全自動(dòng)離子濺射儀是專用于掃描電鏡(SEM)的樣品噴金儀器,能夠極為有效的提供樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性,確保恒沉積速率,減少等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷.顯著提供掃描電鏡觀測結(jié)果。
