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多軸激光干涉儀API XD Laser

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌TeledyneAPI/美國

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-10-21 11:02:26瀏覽次數(shù):1256次

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多軸激光干涉儀API XD Laser
XD激光測(cè)量系統(tǒng)是一臺(tái)由外部計(jì)算機(jī)及其應(yīng)用程序控制的激光測(cè)量?jī)x器。XD激光測(cè)量系統(tǒng)可以同時(shí)對(duì)六個(gè)自由度上的參數(shù)進(jìn)行測(cè)量,包括:線位移、水平直線度、垂直直線度、(水平面內(nèi))偏擺角、(垂直面內(nèi))俯仰角以及繞測(cè)量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

干涉儀類別:

1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)

5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

 

XD激光測(cè)量系統(tǒng)是一臺(tái)由外部計(jì)算機(jī)及其應(yīng)用程序控制的激光測(cè)量?jī)x器。XD激光測(cè)量系統(tǒng)可以同時(shí)對(duì)六個(gè)自由度上的參數(shù)進(jìn)行測(cè)量,包括:線位移、水平直線度、垂直直線度、(水平面內(nèi))偏擺角、(垂直面內(nèi))俯仰角以及繞測(cè)量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

 

    5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試,使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。

    該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄準(zhǔn)確長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

    為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到很小,從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響,測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到非常小。

 

主要特點(diǎn)

1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器很長(zhǎng)的控制距離可到25米 
4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性 
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間

技術(shù)參數(shù)(XD Laser 為無線產(chǎn)品,可選三種不同的準(zhǔn)確性等級(jí))

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:
            1. 線性:0.5ppm 
            2. 測(cè)量范圍:40米(1D可選80米) 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值 
            4. 范圍:800角秒 
            5. 滾動(dòng)角精度:1.0角秒 
            6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值 
            7. 范圍:500um 
            8. 垂直度精度:1角秒 
            9. 溫度:0.2攝氏度 
            10.濕度:5% 
            11.壓力:1mmHg

5D/6D精密型:
            1. 線性:0.2ppm 
            2. 測(cè)量范圍:25米 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值 
            4. 范圍:400角秒 
            5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒 
            6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值 
            7. 范圍:300um 
            8. 垂直度精度:0.5角秒 
            9. 溫度:0.1攝氏度 
            10.濕度:3% 
            11.壓力:0.3mmHg

5D/6D高精密型: 
            1. 線性:0.2ppm 
            2. 測(cè)量范圍:根據(jù)用戶要求而定 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒 
            4. 范圍:500角秒 
            5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒 
            6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um 
            7. 范圍:100um 
            8. 垂直度精度:0.5角秒 
            9. 溫度:0.1攝氏度 
            10.濕度:3% 
            11.壓力:0.3mmHg

 

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