目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機(jī)>>磁控濺射鍍膜>> VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
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更新時(shí)間：2024-02-27 09:54:40瀏覽次數(shù)：1952評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦 |
VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍和兩個(gè)電源，一個(gè)射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜，一個(gè)直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜，可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，且可使用的材料范圍廣，是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。
1、配置兩個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
3、體積小，操作簡便。
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | VTC-600-2HD | |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | |
| 主要參數(shù) | 1、電源電壓：220V 50Hz 2、功率：900W 3、腔體內(nèi)徑：?300mm 4、極限真空度：9.0×10-4Pa 5、樣品臺(tái)加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度） 6、靶槍數(shù)量：2個(gè)（可選配其他數(shù)量） 7、靶槍冷卻方式：水冷 8、靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 9、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。（靶電源種類可選，可選擇兩個(gè)直流電源，也可選擇兩個(gè)射頻電源，或選則一個(gè)直流一個(gè)射頻電源） 10、載樣臺(tái)：?140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。 11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 12、工作氣體：Ar等惰性氣體 13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，一路為100SCCM，另一路為200SCCM。 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 1、主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm | |
| 序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 直流電源控制系統(tǒng) | 1套 | |
| 2 | 射頻電源控制系統(tǒng) | 1套 | - |
| 3 | 膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng) | 1套 | - |
| 4 | 分子泵（德國進(jìn)口或者國產(chǎn)更大抽速） | 1臺(tái) | - |
| 5 | 冷水機(jī) | 1臺(tái) | - |
| 6 | 聚酯PU管（?6mm） | 4m | - |
| 序號(hào) | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
| 1 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | （可選） | - |
| 2 | 可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜 | （可選） | - |
| 3 | 雙層旋轉(zhuǎn)鍍膜夾具 | （可選） |  |
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