產(chǎn)品型號(hào)

    GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

主要特點(diǎn)

    1、可以調(diào)節(jié)電流大小，可設(shè)置濺射時(shí)間。

    2、已經(jīng)過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

    1、輸入電源：208V-240V  50Hz/60Hz

    2、樣品臺(tái)：Φ60mm，高度可調(diào)節(jié)

    3、石英腔體：Φ100mm×130mm

    4、進(jìn)氣口：內(nèi)部裝有閥門，可以向腔體內(nèi)通入各種氣體

    5、靶材：純度為4N的金靶，Φ57mm×0.12mm

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

可選配件

    1、Au（Φ57mm×0.12mm，4N）

    2、Pt（Φ57mm×0.12mm，4N）

    3、Ag（Φ57mm×0.5mm,4N）