產(chǎn)品名稱

EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀

產(chǎn)品型號(hào)

EQ-TM106

主要特點(diǎn)

1、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1、電源：DC  5V（±10%），最大電流400mA

2、頻率分辨率：±0.03Hz

3、膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）

4、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度

5、測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置

6、測(cè)量范圍：500000Å（鋁）

7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz

8、計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無）

9、模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出）

10、工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠

   11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源：AC 220V±10%

2、輸出電源：DC  5V  3A

3、顯示器：12×2數(shù)碼管與LED

4、通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位，奇偶校驗(yàn)：無）

  5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率：6MHz

2、適用晶片尺寸：Ø14mm

3、安裝法蘭：CF35

4、冷卻水管：Ø3mm，長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓：<0.3MPa

6、氣動(dòng)擋板路管：Ø3mm

7、壓縮空氣壓力：<0.8MPa，>0.5MPa

8、烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃

9、電氣接口：BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1個(gè)

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺(tái)

3

EQ-TM106-3探頭

1個(gè)