高精度微納牛傳感器 返回列表頁(yè)

AE-801高精度微納牛傳感器適半導(dǎo)體應(yīng)變傳感器元件。該微力傳感器是非常*和高度靈敏度的傳感器元件。

該高精度微納牛傳感器可以將物理量的力、壓力、位移、加速度、角度等轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)。傳感器元件由兩個(gè)主要部分組成，梁本身和安裝梁的頭部。微梁由單晶硅制成，每邊各有一個(gè)擴(kuò)散電阻器。緩沖器為p型，與轉(zhuǎn)換器制造的方法相同，通過(guò)氧化物掩蔽技術(shù)制造。為了提供梁的自由安裝，發(fā)展了合金技術(shù)，它將頭部的四個(gè)銷連接到終止電阻器的接觸區(qū)域。因此，四個(gè)銷既可以作為梁的機(jī)械安裝點(diǎn)，也可以作為電阻的電氣連接。

傳感器參數(shù)

勵(lì)磁電壓              1 - 10 DC or AC

推薦勵(lì)磁電壓           <6V

電阻                  1000 Ω±25%

電阻器匹配            ±10 ％

梁在全尺寸下偏轉(zhuǎn) (FS)  通常 70 μm

梁在 FS下負(fù)載         0.12 N

安全過(guò)載              120 % of FSO

信號(hào)參數(shù) 25℃

全尺寸輸出 (FSO)      30 mV/V±30 ％

各電阻器計(jì)量系數(shù)      55 - 70

非線性 (typical)         ±0.25 % FSO

滯變 (typical)           ±0.10 % FSO

由內(nèi)部功耗增加的溫度   0.25 ℃/mW in oil,1℃/mW in air

電阻器之間的擊穿電壓   1 min 15 V

環(huán)境參數(shù)

溫度范圍 (操作和存儲(chǔ))   -55 ℃ to +125 ℃

單個(gè)電阻溫度系數(shù)        0.8×10-3/℃±25 %

熱零位移                ±0.02 % FSO/℃

熱敏位移                -0.17±0.05 %/℃

自然頻率 (in air)          ~12 kHz

機(jī)械數(shù)據(jù) 

彈性模量(typical)          1.6×105 /mm2

全長(zhǎng)彈簧常數(shù)             2 N/mm

重量                     120 mg

自然頻率 (in air)          7 kHz approx.

尺寸mm

長(zhǎng)度                     5 mm

殼體直徑                 Φ1.8 mm

梁長(zhǎng)                     5 mm

寬度                     1 mm

厚度                     0.15 mm